[发明专利]用可编程控制器的扩散炉控制系统

权利要求书

1.用可编程控制器的扩散炉控制系统，其特征在于：采用可编程控制器PLC作为核心元件的扩散炉温度控制、气体流量控制系统以及工艺要求的各种连锁控制的主要元部件；并且选取扩散炉控制的人机对话界面用于输入与显示；温度控制的精度和温度的稳定性和进入炉体内的各种气体流量的控制精度和稳定性比起原有的扩散炉控制系统有较大幅度提高，控制功能多样且操作方便，炉体的温度、气路状态显示明确清晰。

2.根据权利要求1所述的用可编程控制器的扩散炉控制系统，其特征在于：所述可编程控制器PLC选用德国产的西门子S7-200 CPU216、EM231及EM232作为系统的智能控制核心单元，负责系统的工艺运行控制，温度检测，故障检测，超温报警，温控仪参数设定，气路质量流量计控制，气路故障检测，工艺要求的各种的联锁控制，实时报警等。

3.根据权利要求1所述的用可编程控制器的扩散炉控制系统，其特征在于：所述的稳定性是采用日本SHIMADEN产的温度控制仪表SR23，透过数字通讯接口与控制核心进行实时数据交换，有效消除了导线传输模拟信号的衰减，SR23本身就是一个智能控制器，具有智能PID算法，在PLC的控制之下输出4～20mA电流信号驱动功率驱动板，因为电流信号传输没有损耗，所以对炉温能实现精确稳定的温度控制。

4.根据权利要求1所述的用可编程控制器的扩散炉控制系统，其特征在于：所述气体流量控制系统控制通过PLC的模拟量控制，进行氢气和大流量氧气质量流量控制器的设定和气路的实时检测反馈，通过PLC的自由口通讯实现氮气和小流量氧气质量流量控制器的设定及气路和实时检测反馈，操作人员通过触摸屏可设定流量大小并查看实际流量。