[发明专利]一种干涉仪

权利要求书

1.一种干涉仪，其特征在于，包括：

基座；

形成在所述基座上的光线传播部，包括第一光线传播路径和第二光线传播路径；沿所述第一光线传播路径上，依次设置有第二反射镜、第三反射镜以及第四反射镜；沿所述第二光线传播路径上，依次设置有第一反射镜以及光学延迟线；所述光线传播部还包括第一分束镜和第二分束镜；所述第一分束镜设置于所述第一光线传播路径的起点处和所述第二光线传播路径的起点处，以使入射到干涉仪内部的光线分为第一子光束和第二子光束；所述第一子光束沿所述第一光线传播路径传播，所述第二子光束沿所述第二光线传播路径传播；所述第二分束镜设置于所述第一光线传播路径的终点处和所述第二光线传播路径的终点处，以将所述第一子光束和所述第二子光束合并；

形成在所述基座上的相位锁定模块，与所述第四反射镜相连接，用于调节所述第四反射镜的位置，以使所述第一子光束和所述第二子光束的相位差小于或等于0.06rad；

所述第一光线传播路径和所述第二光线传播路径的光程差小于或等于6nm。

2.根据权利要求1所述的干涉仪，其特征在于，还包括相位调节装置；

所述相位调节装置包括：补偿片、第一楔形镜和第二楔形镜；

所述补偿片位于所述第一光线传播路径上；

所述第一楔形镜和所述第二楔形镜位于所述第二光线传播路径上；

所述补偿片、所述第一楔形镜和所述第二楔形镜的材料相同；

所述第一子光束沿所述第一光线传播路径传播时透过所述补偿片方向的厚度等于所述第二子光束沿所述第二光线传播路径传播时透过所述第一楔形镜的厚度和所述第二楔形镜的厚度之和；

所述第一楔形镜和所述第二楔形镜的尺寸相同。

3.根据权利要求1所述的干涉仪，其特征在于，

所述相位锁定模块包括第一光阑，光电探测器、反馈电路以及促动装置；

所述第一光阑设置于所述第二分束镜的第一侧，用于过滤脉冲激光；

所述光电探测器设置于所述第一光阑背离与所述第二分束镜的第二侧；

所述反馈电路一端与所述光电探测器相连，另一端与所述促动装置相连；

所述促动装置与所述第四反射镜相连接。

4.根据权利要求3所述的干涉仪，其特征在于，还包括示波器，

所述示波器与所述光电探测器相连，用于对所述光电探测器形成的电信号进行显示。

5.根据权利要求1所述的干涉仪，其特征在于，还包括第二光阑，位于所述第二分束镜的第二侧，用于过滤连续激光。

6.根据权利要求1所述的干涉仪，其特征在于，还包括第三分束镜、光谱诊断装置；

所述第三分束镜设置于所述第二光阑背离所述第二分束镜的第一侧；

所述光谱诊断装置与所述第三分束镜相对设置，用于获取经所述第三分束镜反射的脉冲激光的干涉图谱。

7.根据权利要求1所述的干涉仪，其特征在于，还包括脉冲激光器和连续激光器，以使由所述脉冲激光器形成的脉冲激光和由所述连续激光器形成的连续激光均能够入射到所述第一分束镜。