[发明专利]一种湿法黑硅链式制绒设备

权利要求书

1.一种湿法黑硅链式制绒设备，其特征在于：包括按硅片输送方向依次连接的上料槽(1)、工艺槽(2)、水槽(3)、酸槽组(4)、水槽(5)、酸洗槽(6)、水槽(7)、碱槽(8)、水槽(9)、酸槽F(10)、水槽(11)、烘干槽(12)、下料槽(13)，上述各槽中设有输送硅片的上、下滚轮组(14、15)并在各槽中前后连续，所述工艺槽(2)提供含HNO₃或H₂O₂以及HF和AgNO₃的溶液A，所述酸槽组(4)提供含HNO₃的溶液B，所述酸洗槽(6)提供含HNO₃和HF的溶液C，所述碱槽(8)提供含KOH的溶液D，所述酸槽F(10)提供含HCl和HF的溶液F；

其中，所述工艺槽(2)包括槽体A(201)和储液箱A(202)，所述槽体A(201)内设有挡板A(203)，将所述槽体A(201)分隔成洗槽A(204)和溢液槽A(205)，所述上、下滚轮组(14、15)安装在所述槽体A(201)壁面上，所述挡板A(203)的高度达到所述下滚轮组(15)的上表面，所述储液箱A(202)上连入AgNO₃供液管A(206)、HF供液管A(207)、纯水供液管A(208)、HNO₃或H₂O₂供液管A(209)，所述储液箱A(202)向所述洗槽A(204)连入进液管A(210)，所述洗槽A(204)向所述储液箱A(202)连入排液管A(211)，所述溢液槽A(205)向所述储液箱A(202)连入溢液管A(212)，所述储液箱A(202)底部设有排废管A(213)，所述储液箱A(202)顶部设有溢流管A(214)。

2.根据权利要求1所述的一种湿法黑硅链式制绒设备，其特征在于：所述酸槽组(4)包括初配箱(401)和至少两个独立的酸槽B，所述酸槽B包括槽体B(402)和储液箱B(403)，所述槽体B(402)内设有挡板B(404)，将所述槽体B(402)分隔成洗槽B(405)和溢液槽B(406)，所述上、下滚轮组(14、15)安装在所述槽体B(402)壁面上，所述洗槽B(405)内设置有上、下喷淋管(407、408)，所述上、下滚轮组(14、15)位于所述上、下喷淋管(407、408)之间，所述储液箱B(403)向所述上、下喷淋管(407、408)分别连入进液管B(409)，所述洗槽B(405)向所述储液箱B(403)连入排液管B(410)，所述溢液槽B(406)向所述储液箱B(403)连入溢液管B(411)；至少两个独立的所述酸槽B依次逐级排列，相邻两级所述酸槽B的所述储液箱B(403)之间设有连通管(412)连接，所述初配箱(401)向末级所述酸槽B的所述储液箱B(403)连入配液管(413)，所述初配箱(401)上连入HNO₃供液管B(414)、纯水供液管B(415)，所述初配箱(401)、所述储液箱B(403)底部设有排废管B(416)，首级所述储液箱B(403)顶部设有溢流管B(417)。

3.根据权利要求2所述的一种湿法黑硅链式制绒设备，其特征在于：所述储液箱B(403)上设有加热器(418)，所述上喷淋管(407)上方设有盖板(419)。

4.根据权利要求2所述的一种湿法黑硅链式制绒设备，其特征在于：连接相邻的所述储液箱B(403)之间的所述连通管(412)，其高度自末级向首级逐渐降低。

5.根据权利要求2所述的一种湿法黑硅链式制绒设备，其特征在于：所述初配箱(401)容积不小于各级所述酸槽B的所述储液箱B(403)的容积之和。