[发明专利]叠加式金属网格型透明电极的激光定域去除制备方法

权利要求书

1.叠加式金属网格型透明电极的激光定域去除制备方法，其特征在于，由以下步骤组成：

首先对衬底进行清洗，接着将清洗过的衬底置于磁控溅射镀膜仪样品台上，通过磁控溅射镀膜仪在衬底表面溅射一层的金属；再将得到的金属/衬底置于激光器的样品台上，调整样品台位置和相关激光参数，利用聚焦后的激光束按照EZCAD软件所绘制的方块阵列在金属/衬底上进行扫描，通过精确控制激光参数，可使激光作用下方块阵列区域内的金属被迅速加热而汽化、挥发，实现该区域金属层的定域去除，未被去除的金属层则构成金属网格形状；最后取出，用吸耳球吹去表层的飞溅物，即可得到叠加式金属网格型透明电极；

选用超短脉冲激光器，要求其脉冲宽度小于20ns、波长为355～1064nm，激光束经透镜聚焦后的焦点位于样品表层以上0～1.5mm处，激光能量密度为0.4～1.3J/cm²，扫描速度为10～20mm/s，激光束扫描区域为15mm×15mm；

EZCAD软件所绘制的方块阵列之间的区域构成网格形状，通过控制激光在各方块内扫描时的线重叠率为56％，实现方块内金属层的定域去除；通过控制相邻方块之间的间距和方块的边长，实现网格宽度为40～70μm、网格间距为0.8～1.3mm的叠加式金属网格型透明电极制备；

所述溅射镀膜的操作过程为：将衬底放置于磁控溅射镀膜仪的样品台上，溅射30～200nm的金属层，溅射功率为30～90W，溅射压力为15Pa，工作气体为氩气。

2.根据权利要求1所述的叠加式金属网格型透明电极的激光定域去除制备方法，其特征在于，所述衬底为玻璃、PET、TCO/玻璃或TCO/PET，其中TCO材料包括氧化锌、氧化铟、氧化锡、掺铝氧化锌、掺锡氧化铟、掺氟氧化锡。

3.根据权利要求1所述的叠加式金属网格型透明电极的激光定域去除制备方法，其特征在于，衬底的具体清洗过程为：将衬底分别置于去离子水、丙酮、无水乙醇中超声清洗10min，超声清洗的温度为25℃，功率为40W，随后置于氮气流中吹干，所用的丙酮、乙醇均为分析纯，去离子水的电阻率>16Ω·m。

4.根据权利要求1所述的叠加式金属网格型透明电极的激光定域去除制备方法，其特征在于，所溅射的金属层材料为Ag、Cu、Au、Pt、Ni、Al中的一种。