[发明专利]一种小型椭球式等离子反应腔及其制造方法有效
申请号: | 201711276641.X | 申请日: | 2017-12-06 |
公开(公告)号: | CN107858667B | 公开(公告)日: | 2021-04-13 |
发明(设计)人: | 李晓静;聂凤明;王大森;张广平;裴宁;张旭;冯时 | 申请(专利权)人: | 中国兵器科学研究院宁波分院 |
主分类号: | C23C16/513 | 分类号: | C23C16/513;C23C16/27 |
代理公司: | 宁波诚源专利事务所有限公司 33102 | 代理人: | 袁忠卫 |
地址: | 315103 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 小型 椭球 等离子 反应 及其 制造 方法 | ||
1.一种小型椭球式等离子反应腔,包括腔体、设置在腔体内的沉积室以及同轴天线,其特征在于:所述腔体为下部切边的椭球状金属腔体,椭球状金属腔体的长轴直径Z=430~440mm,短轴半径R=160~170mm,沉积室是由沉积基台与石英钟罩组成,其中沉积基台平行与椭球体短轴密封设置在腔体的下部切边位置,石英钟罩同轴罩盖在沉积基台上方,同轴天线设置于腔体的上端缺口处,等离子反应腔内的微波耦合方式为天线耦合,微波谐振模式为TM033;
所述沉积基台的高度z4=64~68mm,石英钟罩半径Rsy=115~125mm,石英钟罩高度Hsy=230~250mm;同轴天线的内半径r1=8~10mm,外半径r2=26~28mm;同轴天线的高度z1=58~62mm。
2.根据权利要求1所述的小型椭球式等离子反应腔,其特征在于:所述腔体采用不锈钢材料,同轴天线采用圆柱状铜材料,椭球状金属腔体的长轴直径Z=435mm,短轴半径R=165mm。
3.根据权利要求1所述的小型椭球式等离子反应腔,其特征在于:所述沉积基台的高度z4=66mm;石英钟罩半径Rsy=120mm,石英钟罩高度Hsy=240mm;同轴天线的内半径r1=9mm,外半径r2=27mm;同轴天线的高度z1=60mm。
4.一种小型椭球式等离子反应腔的制造方法,其特征在于包括以下步骤:
1)腔体设计:腔体为下部切边的椭球状金属腔体,椭球状金属腔体的长轴直径Z=430~440mm,短轴半径R=160~170mm;
2)沉积室设计:沉积室是由沉积基台与石英钟罩组成,其中沉积基台平行与椭球体短轴密封设置在腔体的下部切边位置,石英钟罩同轴罩盖在沉积基台上方,沉积基台的高度z4=64~68mm,石英钟罩半径Rsy=115~125mm,石英钟罩高度Hsy=230~250mm;
3)同轴天线设计:同轴天线采用圆柱状铜材料,设置于腔体的上端缺口处,同轴天线的内半径r1=8~10mm,外半径r2=26~28mm;同轴天线的高度z1=58~62mm;
4)等离子反应腔内的微波耦合方式为天线耦合,微波谐振模式为TM033。
5.根据权利要求4所述的制造方法,其特征在于:所述等离子反应腔中的最大电场强度出现于沉积基台上方的中心处,电场强度的最大值达到6×104V·m-1。
6.根据权利要求5所述的制造方法,其特征在于:所述等离子反应腔内的等离子体密度的最大值达到1.5×1017/m3。
7.根据权利要求4所述的制造方法,其特征在于:所述腔体采用不锈钢材料,椭球状金属腔体的长轴直径Z=435mm,短轴半径R=165mm。
8.根据权利要求4所述的制造方法,其特征在于:所述沉积基台的高度z4=66mm;石英钟罩半径Rsy=120mm,石英钟罩高度Hsy=240mm。
9.根据权利要求4所述的制造方法,其特征在于:所述同轴天线的内半径r1=9mm,外半径r2=27mm,同轴天线的高度z1=60mm。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国兵器科学研究院宁波分院,未经中国兵器科学研究院宁波分院许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201711276641.X/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的