[发明专利]一种曲率法残余应力测试试样制备的装置及其方法

权利要求书

1.一种曲率法残余应力测试试样制备的装置，其特征在于，包括上夹板（2）、下夹板（3）和涂层试样板（4），所述的涂层试样板（4）由第一试样板（41）和第二试样板（42）组成，所述的第一试样板（41）和第二试样板（42）互相穿插安装，所述的上夹板（2）中间设有开口，所述的上夹板（2）和下夹板（3）将涂层试样板（4）压紧。

2.根据权利要求1所述的一种曲率法残余应力测试试样制备的装置，其特征在于，所述的上夹板（2）和下夹板（3）上分别设有对应的若干个通孔，所述的上夹板（2）和下夹板（3）通过螺栓（1）穿过通孔固定。

3.根据权利要求2所述的一种曲率法残余应力测试试样制备的装置，其特征在于，所述的通孔分别设于上夹板（2）和下夹板（3）的四个角和四条边的中部。

4.根据权利要求1所述的一种曲率法残余应力测试试样制备的装置，其特征在于，所述的第一试样板（41）上设有若干个均匀分隔的短联接条，所述的第二试样板（42）上设有若干个均匀分隔的长联接条，所述的短联接条插入长联接条之间，拼合后的涂层试样板（4）表面形成平整表面。

5.一种曲率法残余应力测试试样制备的方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：将需沉积的涂层试样板（4）、上夹板（2）和下夹板（3）分别进行清洗、去油去污，自然干燥后待用；

S2：将上夹板（2）、下夹板（3）、螺栓（1）、试样均准备好，将试样采用互相穿插式安装放置在下夹板（3）正中位置，调整好位置后，盖上上夹板（2），上夹板（2）和下夹板（3）对中后上用螺栓（1）紧固上下夹板（3）；

S3：采用涂层工艺在上夹板（2）的开口部位制备涂层；

S4：待沉积得到所需厚度涂层或薄膜后，试样连同夹具一起冷却，拆开螺栓（1），揭开上夹板（2），取出试样，保管待用。

6.根据权利要求5所述的一种曲率法残余应力测试试样制备的装置，其特征在于，在步骤S3中所述的涂层工艺包括用于制备热障涂层残余应力试样的热喷涂技术、用于制备阳极氧化硬质电镀涂层残余应力试样的电镀技术、用于制备多元硬质薄膜残余应力试样的多弧离子镀技术或用于制备CVD薄膜残余应力试样的化学气相沉积技术。

7.根据权利要求5所述的一种曲率法残余应力测试试样制备的装置，其特征在于，在步骤S2中，最少固定八个螺栓（1），采用四个角四个螺栓（1），各边中部固定一个螺栓（1），保证试样被加紧、平整且不松动。