[发明专利]一种立体视觉腐蚀形貌检测装置及检测方法

权利要求书

1.一种立体视觉腐蚀形貌检测装置，包括激光发射器、透镜、偏光镜和CCD光电传感器；由激光发射器发射激光打在透镜上，一部分光通过透镜折射到被测工件表面，一部分光被透镜反射并进入偏光镜然后折射传入CCD传感器上，折射到工件表面的光再漫反射通过透镜进入偏光镜然后折射传入CCD传感器上，由物体表面的反射光和偏光镜产生的同频同幅的同源折射光，在CCD光电传感器上形成干涉条纹，其特征在于在立体视觉检测装置中增加图形处理软件接收CCD光电传感器的信息。

2.如权利要求1所述的立体视觉腐蚀形貌检测装置，其特征在于所述图形处理软件是用于将接收CCD光电传感器的信息通过分辨率优化、图像去噪、冗余消除等图像处理技术解调出相位，准确描述干涉条纹图，通过处理后的干涉条纹距离来计算物体深度方向的距离，获取被测位置物体表面三维形貌信息，不断调整激光发射器的位置，实现全面扫描被测产品表面，实现被测产品表面三维形貌重构。

3.如权利要求1或2所述的立体视觉腐蚀形貌检测装置，其特征在于所述三维形貌信息包括图像轮廓信息、深度、腐蚀面积等信息。

4.如权利要求3所述的立体视觉腐蚀形貌检测装置，其特征在于所述透镜为25mm透镜。

5.一种立体视觉腐蚀形貌检测方法，其特征在于，包括以下步骤：首先准备两件工件作，其中一件作为基准面，另一件作为比对件，通过立体视觉检测装置点云扫描获得样品表面的数据信息，然后通过图形处理软件对两片实验点云进行匹配拼接，最后进行偏差的测量，得到两工件扫描数据对比得到腐蚀形貌。

6.如权利要求1所述的立体视觉腐蚀形貌检测装置，其特征在于所述两工件扫描数据对比是通过色谱图提取腐蚀形貌信息；色谱图中暖色区域代表比对件的这部分区域与基准件相比空间位置偏高，冷色区域代表空间位置偏低。

7.如权利要求1所述的立体视觉腐蚀形貌检测装置，其特征在于所述两工件扫描数据对比是通过手动标注中所显示的数值，提取腐蚀形貌信息。