[发明专利]一种用于制备钙钛矿太阳能电池的团簇式真空沉积系统

权利要求书

1.一种用于制备钙钛矿太阳能电池的团簇式真空沉积系统，其特征在于：包括进/出样腔室(1)、中央腔室(2)、机械传输装置及多个沉积腔室(3)，其中进/出样腔室(1)及多个沉积腔室(3)沿周向设置于中央腔室(2)的周围、且均与所述中央腔室(2)连通，所述进/出样腔室(1)及多个沉积腔室(3)与所述中央腔室(2)之间均设有闸板阀(4)，所述机械传输装置设置于所述中央腔室(2)内，且用于将装有样品基底的托架在各腔室之间传输，多个沉积腔室(3)内沉积制备钙钛矿太阳能电池的各层结构；

所述沉积腔室(3)的类型包括电阻式热蒸镀沉积腔室、有/无机源蒸镀沉积腔室、电子束蒸镀沉积腔室及磁控溅射沉积腔室；

所述系统制备的钙钛矿太阳能电池的结构依次为基底、透明导电薄膜层、阻挡层、钙钛矿吸收层、空穴传输层及金属背电极层；

所述透明导电薄膜层的沉积制备腔室为电子束蒸镀沉积腔室或磁控溅射沉积腔室；所述阻挡层的沉积制备腔室为磁控溅射沉积腔室；所述钙钛矿吸收层的沉积制备腔室为有/无机源蒸镀沉积腔室；所述空穴传输层的沉积制备腔室为有/无机源蒸镀沉积腔室或磁控溅射沉积腔室；所述金属背电极层的沉积制备腔室为电阻式热蒸镀沉积腔室或磁控溅射沉积腔室。

2.根据权利要求1所述的用于制备钙钛矿太阳能电池的团簇式真空沉积系统，其特征在于：所述进/出样腔室(1)用于放置和取出钙钛矿电池样品，内设有承接样品托架的支架，所述进/出样腔室(1)配有用于保持沉积腔室的独立真空的真空泵组，且配有真空计和温度计。

3.根据权利要求1所述的用于制备钙钛矿太阳能电池的团簇式真空沉积系统,其特征在于：所述中央腔室(2)配有用于保持沉积腔室的独立真空的真空泵组，且配有真空计。

4.根据权利要求3所述的用于制备钙钛矿太阳能电池的团簇式真空沉积系统,其特征在于：所述中央腔室(2)内设有用于样品的退火和预热的温控系统。

5.根据权利要求1所述的用于制备钙钛矿太阳能电池的团簇式真空沉积系统,其特征在于：每个所述沉积腔室(3)均为独立空间，均配有温控系统及用于保持沉积腔室独立真空的真空泵组。

6.根据权利要求5所述的用于制备钙钛矿太阳能电池的团簇式真空沉积系统,其特征在于：每个所述沉积腔室(3)内均设有用于控制沉积速率和成膜均匀性的膜厚传感系统。

7.根据权利要求5所述的用于制备钙钛矿太阳能电池的团簇式真空沉积系统,其特征在于：每个所述沉积腔室(3)均配有真空计、用以控制气压的蝶阀及三路气体，三路气体用流量计控制流量。