[发明专利]阵列基板及其制备方法有效
申请号: | 201711283181.3 | 申请日: | 2017-12-07 |
公开(公告)号: | CN108091612B | 公开(公告)日: | 2020-11-24 |
发明(设计)人: | 夏慧 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/84 | 分类号: | H01L21/84;H01L27/12 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 阵列 及其 制备 方法 | ||
本发明提供一种阵列基板制备方法,将阵列基板划分为固化区域和可拉伸区域,对应于可拉伸区域的金属走线采用柔性导电材料,以降低显示面板弯折断线风险;解决了现有技术的柔性显示装置,在弯折过程中其阵列基板表面的金属走线较易断线,进而影响柔性OLED显示面板的品质的技术问题。
技术领域
本发明涉及显示面板制造领域,尤其涉及一种阵列基板及其制备方法。
背景技术
随着可穿戴应用设备如智能眼镜、智能手表等的逐渐兴起,显示行业对柔性显示器件的需求也不断增加。
现有技术的柔性显示器件,多为OLED显示面板(Organic Light EmittingDisplay,有机发光二极管显示器件),OLED可自发光,不需要背光源,从而具有柔性显示的优势。
现有技术的OLED显示面板,通过将OLED发光器件和TFT(薄膜晶体管)器件制备在柔性基底表面,以实现可弯折的柔性OLED显示面板;然而,现有技术的柔性OLED显示面板,阵列基板表面的金属走线材料较脆弱,在弯折过程中容易折断,导致断线风险增加,进而影响柔性OLED显示面板的品质。
综上所述,现有技术的柔性显示装置,在弯折过程中其阵列基板表面的金属走线较易断线,进而影响柔性OLED显示面板的品质。
发明内容
本发明提供一种阵列基板的制备方法,将阵列基板划分为固化区域和可拉伸区域,对应于可拉伸区域的金属走线采用柔性导电材料,以降低显示面板弯折断线风险。
为解决上述问题,本发明提供的技术方案如下:
本发明提供一种阵列基板制备方法,所述方法包括:
步骤S10,提供绝缘材料制备的基板,所述绝缘材料用于在拉力的作用下伸长,和/或用于在压力的作用下收缩;
步骤S20,在所述基板表面制备薄膜晶体管,所述薄膜晶体管包括有源层,以及采用导电材料制备的源极、漏极和栅极,所述导电材料用于在拉力的作用下伸长,和/或用于在压力的作用下收缩;
步骤S30,在所述基板表面制备平坦化层;
步骤S40,在所述平坦化层表面制备遮光层图案,并使用所述遮光层图案对所述阵列基板进行固化区域和可拉伸区域的定义。
根据本发明一优选实施例,所述固化区域至少覆盖所述薄膜晶体管的有源层,所述固化区域之外的区域定义为所述可拉伸区域。
根据本发明一优选实施例,在所述基板表面制备薄膜晶体管的步骤具体包括:
步骤S201,在所述基板表面制备第一图案化层,所述第一图案化层包括所述薄膜晶体管的源极和漏极;
步骤S202,在所述源极和所述漏极之间制备有源层,并使所述有源层的两端对应搭接在所述源极和所述漏极表面;
步骤S203,在所述基板表面制备栅绝缘层,并使所述栅绝缘层覆盖所述有源层、以及部分所述源极和所述漏极;
步骤S204,在所述基板表面制备第二绝缘层,所述第二绝缘层与所述基板采用相同材料制备;
步骤S205,在所述第二绝缘层表面制备栅极,并使所述栅极的部分区域对应于所述有源层上方。
根据本发明一优选实施例,所述步骤S201,具体包括:
使用油墨印刷的方式,在所述基板表面直接沉积所述源极和所述漏极的图案层;或者包括:
步骤S2011,在所述基板表面沉积电极材料层;
步骤S2012,在所述电极材料层表面制备光阻层;
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