[发明专利]一种辉光放电光谱仪测定铝材表面氧化膜质量的方法有效
| 申请号： | 201711283400.8 | 申请日： | 2017-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN108107035B | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 高崇;赵丕植;黄瑞银;江钟宇;苏玉龙;李英东 | 申请（专利权）人： | 中铝材料应用研究院有限公司;中铝瑞闽股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/67 | 分类号： | G01N21/67 |
| 代理公司： | 11028 中国有色金属工业专利中心 | 代理人： | 李子健;李迎春 |
| 地址： | 102209 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氧化膜 铝材表面 辉光放电光谱仪 辉光放电光谱 表层氧化膜 氧化膜结构 元素分布图 分布变化 元素分布 铝基材 检测 | ||
【权利要求书】：
1.辉光放电光谱法用于阳极化铝材表面质量评价的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：
（1）设定辉光放电光谱仪的工作条件；
（2）将铝材表面氧化膜进行由表及里的辉光放电光谱检测，获得所述氧化膜中各元素原始的强度-时间分布曲线；
（3）解析步骤（2）中所述原始的强度-时间分布曲线，根据各元素不同含量的标准样品的溅射速率确定各元素的校正系数，最后拟合出所述氧化膜中各元素的含量-深度分布曲线；
（4）根据步骤（3）中的所述含量-深度分布曲线，判断所述氧化膜质量是否合格，所述氧化膜中质量百分含量≤1%的元素Mg、Fe、Si、Zn、Zr、Ti、Cu、Cr、H与元素Al、O、S作用相同，可以用于判断所述氧化膜质量是否合格，所述氧化膜中的元素Al、O、S、Mg、Fe、Si、Zn、Zr、Ti、Cu、Cr、H含量由表及里的分布发生激增或者骤降，则所述氧化膜质量不合格；所述氧化膜中的元素Al、O、S、Mg、Fe、Si、Zn、Zr、Ti、Cu、Cr、H含量由表及里的分布平稳，则所述氧化膜质量合格。
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