[发明专利]用于激光器的光通信波段宽带透射型光栅在审
| 申请号： | 201711284002.8 | 申请日： | 2017-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN109901256A | 公开（公告）日： | 2019-06-18 |
| 发明（设计）人： | 徐建卫 | 申请（专利权）人： | 上海矽安光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙) 31297 | 代理人： | 周高 |
| 地址： | 200233 上海市徐汇*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 透射型光栅 光栅层 光通信波段 激光器 宽带 衬底 高折射率材料 光栅占空比 透明材料 衍射效率 折射率 波长 刻蚀 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于激光器的光通信波段宽带透射型光栅，其特征在于，包括一透明材料制成的衬底，所述衬底上设有高折射率材料制成的光栅层，该光栅层折射率为3.48，所述光栅层的周期为0.85-1微米、刻蚀深度为90-200纳米，所述光栅层的光栅占空比为0.4。
2.如权利要求1所述的用于激光器的光通信波段宽带透射型光栅，其特征在于，所述光栅层的周期为920纳米、刻蚀深度为130纳米。
3.如权利要求2所述的用于激光器的光通信波段宽带透射型光栅，其特征在于，所述衬底为熔融石英。
4.如权利要求3所述的用于激光器的光通信波段宽带透射型光栅，其特征在于，所述光栅层为单晶硅或多晶硅薄膜。
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