[发明专利]基板处理装置

权利要求书

1.一种基板处理装置，其具备对多个基板进行成批处理的处理部，该基板处理装置具有：

载置台，其载置基板收纳容器，该基板收纳容器收纳有从该基板处理装置的外部接收的多个基板；

单张式的位置调整部，其对基板的旋转方向位置进行逐张调整；

第1基板输送机构，其进行如下操作：将收纳到所述基板收纳容器的多个基板中的1张基板取出而向所述位置调整部输送的操作；将在所述位置调整部旋转方向位置被调整后的该1张基板向所述基板收纳容器输送的操作；

第2基板输送机构，其将被所述第1基板输送机构输送并收纳到所述基板收纳容器的旋转方向位置被调整后的所述多个基板从所述基板收纳容器统一取出；以及

容器输送机构，其输送所述基板收纳容器，

其中，所述载置台包括在所述第1基板输送机构从所述基板收纳容器取出所述基板时载置所述基板收纳容器的第1载置台以及在所述第2基板输送机构从所述基板收纳容器取出所述基板时载置所述基板收纳容器的第2载置台，

所述容器输送机构在所述第1载置台与所述第2载置台之间输送所述基板收纳容器。

2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，

所述第1载置台与所述位置调整部沿着上下方向排列。

3.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，

所述第1载置台与所述第2载置台沿着上下方向排列。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的基板处理装置，其中，

该基板处理装置还具备将收纳有旋转方向位置被调整后的所述多个基板的基板收纳容器暂时保管的保管部，

在1个基板收纳容器被保管于所述保管部而针对其下一个基板收纳容器、所述多个基板的旋转方向位置被调整了之后，所述容器输送机构将所述基板收纳容器从所述保管部向所述第2载置台输送，所述第2基板输送机构从输送来的所述基板收纳容器将所述多个基板统一取出，

所述容器输送机构连续地将所述下一个基板收纳容器从所述第1载置台向所述第2载置台输送，所述第2基板输送机构从输送来的所述基板收纳容器将所述多个基板统一取出。

5.根据权利要求1～3中的任一项所述的基板处理装置，其中，

该基板处理装置还具备将收纳有旋转方向位置被调整后的所述多个基板的基板收纳容器暂时保管的保管部，

在两个基板收纳容器被保管到所述保管部了之后，所述容器输送机构将所述两个基板收纳容器从所述保管部向所述第2载置台连续地输送，所述第2基板输送机构针对输送来的所述两个基板收纳容器连续地进行从所述基板收纳容器将所述多个基板统一取出的动作。