[发明专利]一种非对称反射的微环光传输器件及其制备方法

权利要求书

1.一种非对称反射的微环光传输器件，其特征在于：包括衬底、设置在衬底上的微环、设置在衬底上的位于微环后侧的上传直波导，设置在衬底上的位于微环前侧的下载直波导，以及设置在衬底上的位于微环左侧/右侧的散射体。

2.根据权利要求1所述的非对称反射的微环光传输器件，其特征在于：所述上传直波导、下载直波导与微环间的耦合处于或接近临界耦合状态。

3.根据权利要求1或2所述的非对称反射的微环光传输器件，其特征在于：所述微环的侧壁光滑。

4.根据权利要求3所述的非对称反射的微环光传输器件，其特征在于：所述散射体的尺寸在四分之一谐振波长到谐振波长之间。

5.根据权利要求3所述的非对称反射的微环光传输器件，其特征在于：所述衬底的折射率低于微环、上传直波导、下载直波导、散射体的折射率。

6.根据权利要求5所述的非对称反射的微环光传输器件，其特征在于：所述衬底的材料为二氧化硅，微环、上传直波导、下载直波导、散射体的材料为氮化硅或硅。

7.一种根据权利要求1~6任一项所述非对称反射的微环光传输器件的制备方法，其特征在于：包括有以下步骤：

S1.在衬底上生长一定厚度的光波导层；

S2.在光波导层上旋涂光刻胶，然后进行图形曝光以及显影获得掩膜图形；

S3.根据掩膜图形进行刻蚀，获得由光波导层构成的结构，将光刻胶去除，得到微环光传输器件。