[发明专利]一种酸性镀铜工艺以及方法

权利要求书

1.一种酸性镀铜工艺以及方法，包括配电铜液方法、工件预处理和脉冲电镀铜，其特征在于：该工艺具体步骤如下：

(1)配电铜液方法

电镀液配液以100L电镀液配液成份数量为基准，硫酸铜为9.0公斤，分析纯硫酸为11升，分析纯盐酸为16毫升，脉冲镀铜开缸剂PCP 365M为1.5升和脉冲镀铜光亮剂PCP 365B75毫升；

具体配置方法如下：

a、加入3/4电铜槽体积的脱离子水；

b、慢慢加进所需要的分析纯硫酸且加酸时需要配合连续性搅拌；

c、加酸后，将硫酸铜盐倒入溶液中和搅拌所有硫酸铜盐溶入电镀液；

d、溶液冷却到24-32℃，将PCP 365M开缸液，PCP 365B光亮剂和分析纯盐酸加进电铜液内；

e、加入脱离子水到所设定的水位；

f、当铜液温度在24-32℃范围，铜液成份分析在设定控制范围，使用DC 20ASF假镀(电镀液到达每升2AH使用量时)，才开始投入生产板周期；(注：好的电镀效果需要精纯的电镀液配合)

(2)工件预处理：采用常规的碱性电镀铜工艺对工件进行预镀铜；

(3)脉冲电镀铜：酸性镀铜工艺为脉冲电镀铜，是专为负脉冲电镀技术，应用于酸性镀铜工艺，其应用理论是在高电流区上吸收的光亮剂在向反周期脱离于铜面，增加电流区的极化作用，从而使电流分向低电流区，致使高电位去的电铜厚度(铜表面)减少和低电位区的电铜厚度(铜表面)减少和低电位区的电铜厚度(导通孔)增加。

2.根据权利要求1所述的一种酸性镀铜工艺以及方法，其特征在于，所述步骤(1)配电镀液的化学材料可能带来有机和金属污染，如对开缸化学材料怀疑，可先行PREPURIFIED提纯，且新阳极袋，过滤蕊，新电铜槽需用5％硫酸+0.5％开缸添加剂浸24hr。

3.根据权利要求1所述的一种酸性镀铜工艺以及方法，其特征在于，所述步骤(1)中电镀槽使用PVC，PP塑料或者橡胶包钢槽，连续搅拌时使用机械搅拌，喷管或者加气搅拌，空气内不含油气原，所述阳极为除氧含磷铜阳极。

4.根据权利要求1所述的一种酸性镀铜工艺以及方法，其特征在于，所述步骤(1)中电镀液中硫酸铜含量控制在80-120g/1，硫酸的含量在100-140ml/1，氯离子的含量在60-90ppm，脉冲镀铜承载剂PCP 365A的含量在10-30ml/1，脉冲镀铜光亮剂PCP 365B的含量在0.5-1.0ml/1。

5.根据权利要求1所述的一种酸性镀铜工艺以及方法，其特征在于，所述步骤(1)中电镀液的温度在24-32℃。

6.根据权利要求1所述的一种酸性镀铜工艺以及方法，其特征在于，所述步骤(3)中的阴极电流密度在10-50ASF，正向电流时间在10-100ms，反向电流时间在0.3-5.0ms。

7.根据权利要求1所述的一种酸性镀铜工艺以及方法，其特征在于，所述步骤(1)中电镀液维护步骤有硫酸铜盐含量维持在80-120克/升、硫酸含量维持在100-140毫升/升和氯离子含量维持在60-90ppm。