[发明专利]喷淋式保湿自走机器人在审
| 申请号： | 201711292312.4 | 申请日： | 2017-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN107818937A | 公开（公告）日： | 2018-03-20 |
| 发明（设计）人： | 吴功;张庆 | 申请（专利权）人： | 上海大族富创得科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海翰信知识产权代理事务所(普通合伙)31270 | 代理人： | 张维东 |
| 地址： | 201100 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 喷淋 保湿 机器人 | ||
1.一种喷淋式保湿自走机器人，其特征在于，包括：
小车本体；
水槽，所述水槽位于所述小车本体上，用于放置基底片；
机械手臂，所述机械手臂位于所述小车本体上，用于搬运所述基底片；
喷淋装置，所述喷淋装置包括喷嘴，用于对所述基底片进行喷淋。
2.如权利要求1所述的喷淋式保湿自走机器人，其特征在于，所述基底片通过盒体放置在水槽内部。
3.如权利要求2所述的喷淋式保湿自走机器人，其特征在于，所述水槽内的水位高度低于所述盒体的高度。
4.如权利要求3所述的喷淋式保湿自走机器人，其特征在于，还包括过滤装置，所述过滤装置位于所述水槽的下部，所述过滤装置包括第一阀、水泵、第二阀、过滤器和第三阀，所述第一阀、所述水泵、所述第二阀、所述过滤器和所述第三阀依次连接，所述第一阀通过出水管连接所述喷嘴，所述第三阀通过进水管连接所述水槽。
5.如权利要求4所述的喷淋式保湿自走机器人，其特征在于，所述喷嘴的数量为多个，且分别设置在所述水槽的两侧；
所述第一阀的数量为两个，且分别与所述水槽两侧的所述喷嘴相对应。
6.如权利要求4所述的喷淋式保湿自走机器人，其特征在于，还包括滤材，所述滤材位于所述水槽内部。
7.如权利要求4所述的喷淋式保湿自走机器人，其特征在于，所述过滤器分别与所述第二阀和所述第三阀为活动连接。
8.如权利要求1所述的喷淋式保湿自走机器人，其特征在于，还包括排水口，所述排水口设置在所述水槽的底部。
9.如权利要求1所述的喷淋式保湿自走机器人，其特征在于，还包括水位报警装置，所述水位报警装置位于所述水槽内。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
