[发明专利]一种电磁式振动能量收集器及其制备方法有效
| 申请号： | 201711292702.1 | 申请日： | 2017-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN108054895B | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 黄晓东;黄见秋;黄庆安 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | H02K35/02 | 分类号： | H02K35/02 |
| 代理公司： | 32200 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人： | 李明 |
| 地址： | 214135 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 电磁式 振动 能量 收集 及其 制备 方法 | ||
1.一种电磁式振动能量收集器，其特征在于，其包括：
相互堆叠的衬底和背板；
所述衬底的下表面形成有凹槽，所述凹槽和所述背板形成腔体，所述腔体内设有永磁体；
所述衬底的上表面设置有第一电感线圈层，所述背板的下表面设置有第二电感线圈层。
2.根据权利要求1所述的电磁式振动能量收集器，其特征在于，所述第一电感线圈层与所述衬底之间、所述第二电感线圈层与所述背板之间设置有绝缘层。
3.根据权利要求1所述的电磁式振动能量收集器，其特征在于，所述凹槽的表面设置有绝缘层。
4.根据权利要求1所述的电磁式振动能量收集器，其特征在于，所述第一电感线圈层和/或所述第二电感线圈层为矩形螺旋面结构或圆形螺旋面结构。
5.根据权利要求1所述的电磁式振动能量收集器，其特征在于，所述永磁体为球体或者圆柱体。
6.一种电磁式振动能量收集器的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：
选择衬底，刻蚀所述衬底的下表面，形成凹槽结构；
在所述衬底的上下表面沉积绝缘层，形成覆盖所述衬底上表面的第一绝缘层、覆盖所述衬底下表面及所述凹槽结构的第二绝缘层；
在所述第一绝缘层上沉积并刻蚀形成第一电感线圈层；
选择背板，在所述背板的下表面沉积第三绝缘层；
在所述第三绝缘层上沉积并刻蚀形成第二电感线圈层；
在所述凹槽结构内安装永磁体；
将所述衬底的凹槽结构正对所述背板的上表面进行组装，制成所述电磁式振动能量收集器。
7.根据权利要求6所述的电磁式振动能量收集器的制备方法，其特征在于，所述第一电感线圈层和/或所述第二电感线圈层形成为矩形螺旋面结构或圆形螺旋面结构。
8.根据权利要求6所述的电磁式振动能量收集器的制备方法，其特征在于，所述衬底的凹槽结构正对所述背板的上表面组装形成腔体。
9.根据权利要求6所述的电磁式振动能量收集器的制备方法，其特征在于，所述组装包括键合工艺。
10.根据权利要求6所述的电磁式振动能量收集器的制备方法，其特征在于，制备所述第一电感线圈层和/或所述第二电感线圈层包括沉积Ti/Cu或Cr/Cu的复合层。
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