[发明专利]邻重氮萘醌正性光致抗蚀剂的生产装置

说明书

邻重氮萘醌正性光致抗蚀剂的生产装置，主要包括：硝化釜(D101)、重氮化釜(D102)、反应釜(D103)、溶解釜(D104)、脱水精制(D105)、反应釜(D106)、粗滤器(L101)、精滤器(L102)、储罐(F101～F106)、泵(J101～J106)，其中，反应釜(D103)分别与重氮化釜(D102)、溶解釜(D104)相连接，泵(J103)分别与储罐(F103)、重氮化釜(D102)相连接，其中，反应釜(D103)公称容积700‑800L。

技术领域

本发明涉及化合物合成装置，尤其涉及邻重氮萘醌正性光致抗蚀剂的生产装置。

背景技术

邻重氮萘醌正性光致抗蚀剂是在紫外(波长300～450nm)光通过掩膜照射后，光照部分重氮基发生分解重排成羧酸，用稀碱水处理时光照部分溶去，而未曝光部分则保留的一种光致抗蚀剂。是目前国际上用量急剧上升的一类抗蚀剂，适用于大规模集成电路和电子工业元器件及光学机械加工工艺的制作。除了用于接触曝光外，还可用于投影曝光和分布重复曝光等。现有的生产装置大多比较复杂，邻重氮萘醌作为正性光致抗蚀剂，其生产装置优劣对于提高产品质量，减少副产物含量具有重要经济意义。

发明内容

本发明的目的在于提供邻重氮萘醌正性光致抗蚀剂的生产装置，主要包括：硝化釜(D101)、重氮化釜(D102)、反应釜(D103)、溶解釜(D104)、脱水精制(D105)、反应釜(D106)、粗滤器(L101)、精滤器(L102)、储罐(F101～F106)、泵(J101～J106)，其中，反应釜(D103)分别与重氮化釜(D102)、溶解釜(D104)相连接，泵(J103)分别与储罐(F103)、重氮化釜(D102)相连接，其中，反应釜(D103)公称容积700-800L，储罐(F103)封头厚度7-8mm，泵(J105)进水口直径220-230mm。

邻重氮萘醌正性光致抗蚀剂的生产装置，生产流程为：将1-萘酚-5-磺酸在硝化釜D101内与硝酸在45-50℃下进行硝化反应3-4h。将D101内的物料在重氮化釜D102内进行重氮化，并在加入了二氯亚砜的反应釜D103内反应，制得感光剂2-重氮-1,2-萘醌-5-磺酰氯。在反应釜D106内加入间、对甲酚及甲醛，反应1-2h生成线型酚醛树脂。将上步制得的酚醛树脂在D105内进行脱水精制。将精制后的线型酚醛树脂与2-重氮-1,2-萘醌-5-磺酰氯在溶解釜D104内进行溶解。将产品经粗滤器L101、精滤器L102两道工序后，即得成品。本发明优点在于：减少了反应中间环节，降低了反应温度及反应时间，提高了反应收率。

附图说明

图1是邻重氮萘醌正性光致抗蚀剂的生产装置，主要包括：硝化釜(D101)、重氮化釜(D102)、反应釜(D103)、溶解釜(D104)、脱水精制(D105)、反应釜(D106)、粗滤器(L101)、精滤器(L102)、储罐(F101～F106)、泵(J101～J106)。

具体实施方式

下面结合具体实施实例对本发明作进一步说明：

实例1：

原料及消耗定额