[发明专利]一种环境友好型Sn-Sb-Ti纳米复合相变薄膜及其制备方法

权利要求书

1.一种环境友好型Sn-Sb-Ti纳米复合相变薄膜，其特征在于，其化学组成符合化学通式(Sn_xSb_1-x)_1-yTi_y；

其化学组成为(Sn_0.2Sb_0.8)_0.91Ti_0.09、(Sn_0.2Sb_0.8)_0.83Ti_0.17或(Sn_0.2Sb_0.8)_0.71Ti_0.29；

其制备方法，包括以下步骤：

1）、将Sn_xSb_1-x合金靶材放在溅射仪的靶位上，在Sn_xSb_1-x靶材上面放置所需扇形Ti靶材，且扇形Ti靶材的圆心与Sn_xSb_1-x合金靶材的圆心重合；

2）、将清洗干净的SiO₂/Si(100)基片固定在样品托盘上，密封溅射仪器腔体，关闭对外通气阀门；开启真空计和机械泵抽真空，待腔体内真空达到5Pa或以下时，启动分子泵，打开插板阀，抽真空至2×10^-4Pa以下；

3）、将Sn_xSb_1-x合金靶材的交流电源溅射功率设置为18～22W；使用高纯Ar气作为溅射气体，Ar气流量设为26～32SCCM，溅射气压为2.0～2.6×10^-1Pa；

4）、用上位机软件在线控制和监测镀膜的全过程，设置溅射时间，靶材的溅射速度为4～8s/nm，将SiO₂/Si(100)基片旋转到Sn_xSb_1-x(Ti)靶位，开启交流溅射电源，在SiO₂/Si(100)基片上溅射一段时间后得到(Sn_xSb_1-x)_1-yTi_y合金相变薄膜，溅射结束后，关闭Sn_xSb_1-x(Ti)靶位的交流溅射电源。

2.如权利要求1所述的环境友好型Sn-Sb-Ti纳米复合相变薄膜，其特征在于，所述SiO₂/Si(100)基片的清洗方法为先将基片置于乙醇溶液中，用超声清洗8～12分钟，去基片表面灰尘颗粒以及无机杂质；然后将基片置于丙酮溶液中，用超声清洗8～12分钟，去基片表面有机杂质；再将基片置于去离子水中，用超声清洗8～15分钟，再次清洗表面；然后取出基片，用高纯N₂吹干表面和背面，放置在干燥箱内待用。

3.如权利要求2所述的环境友好型Sn-Sb-Ti纳米复合相变薄膜，其特征在于，所述的扇形Ti靶材的半径20mm，厚度2mm，圆心角为30°。