[发明专利]高温高压容器内熔体温度测量用红外测温装置

说明书

本发明公开了一种高温高压容器内熔体温度测量用红外测温装置，包括连接在压力容器的容器孔上的连接管、沿连接管的轴向在连接管内由内向外依次设置的第一密封垫、石英窗口片、第二密封垫、环形压盖和红外测温装置，所述环形压盖与连接管的内壁螺纹连接与第一密封垫和第二密封垫配合形成石英窗口片与连接管的密封结构，其特征在于：在连接管的自由端螺纹连接有连接套，所述红外测温装置与连接套螺纹连接并且与连接轴同轴设置。本发明的有益效果是：结构简单、安装拆卸方便，红外测温装置的测温光线通过石英窗口片照射到熔体表面上，通过调整焦距可调整聚焦和灵敏度，实现红外测温，保证后续工艺的连续性和稳定性。

技术领域

本发明涉及一种红外测温装置，更具体的说，尤其涉及一种用于测量高温高压容器内熔体温度的红外测温装置。

背景技术

在半导体行业，原材料的合成、晶体生长过程中通常是在高温高压的环境下进行，并且需要很好的密封。因此，想通过一些传统的方式获得熔体的温度，需要将测温电阻或热偶伸到熔体内部，这使得容器的制作、密封等非常不方便，而且接触会对熔体的纯度造成玷污。鉴于以上因素，红外测温装置能很好的解决这个难题。但是，由于高温高压、密封等要求，也不容易实现。

为此有必要设计一种专门用于测量高温高压容器内熔体温度的红外测温装置。

发明内容

本发明要解决的问题是提供一种高温高压容器内熔体温度测量用红外测温装置，通过设计与容器内部相通的连接管、设置在连接管上的石英窗口片以及红外测温装置，实现在不影响正常工艺的其它操作下，及时测出熔体温度，保证工艺的连续性和稳定性。

为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：一种高温高压容器内熔体温度测量用红外测温装置，包括连接在压力容器的容器孔上的连接管、沿所述连接管的轴向在连接管内由内向外依次设置的第一密封垫、石英窗口片、第二密封垫、环形压盖和红外测温装置，所述环形压盖与所述连接管的内壁螺纹连接、与所述第一密封垫和所述第二密封垫配合形成所述石英窗口片与所述连接管间的密封结构，其特征在于：在所述连接管的自由端螺纹连接有连接套，所述红外测温装置与所述连接套螺纹连接并且与所述连接套同轴设置。

进一步的，在所述连接套的侧壁开设有调焦孔。

进一步的，在所述红外测温装置的调焦旋钮上套装有旋转套，在所述旋转套上连接有手柄，所述手柄的自由端穿过调焦孔、位于连接套外侧。

进一步的，所述第一密封垫和所述第二密封垫为聚四氟乙烯密封垫。

本发明的有益技术效果是：结构简单、安装拆卸方便，红外测温装置的测温光线通过石英窗口片照射到熔体表面上，通过调整焦距可调整聚焦和灵敏度，实现红外测温，保证后续工艺的连续性和稳定性。

下面结合附图对本发明进行详细说明。

附图说明

图1是本发明高温高压容器内熔体温度测量用红外测温装置结构示意图。

在附图中：1是容器孔，2是连接管，3是第一密封垫，4是石英窗口片，5是第二密封垫，6是环形压盖，7是红外测温装置，8是连接套，8-1是调焦孔，9是旋转套，10是手柄。

具体实施方式

参见附图，本发明提供了一种高温高压容器内熔体温度测量用红外测温装置，包括连接在压力容器的容器孔1上的连接管2、沿连接管2的轴向在连接管2内由内向外依次设置的第一密封垫3、石英窗口片4、第二密封垫5、环形压盖6和红外测温装置7，环形压盖6与连接管2的内壁螺纹连接、与第一密封垫3和第二密封垫5配合形成石英窗口片4与连接管2的密封结构，关键在于：在连接管2的自由端螺纹连接有连接套8，红外测温装置7与连接套8螺纹连接并且与连接套8同轴设置。更具体地，为得到精确的温度测量值，容器孔1、连接管2和红外测温装置7产生的红外线需处于同一轴线上，以便于红外测温装置7产生的红外线穿过容器孔1进入容器内。