[发明专利]感光树脂组合物有效
申请号: | 201711304224.1 | 申请日: | 2017-12-11 |
公开(公告)号: | CN109901361B | 公开(公告)日: | 2022-12-16 |
发明(设计)人: | 孙涛;刘永祥;桑伟 | 申请(专利权)人: | 固安鼎材科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/027 | 分类号: | G03F7/027;G03F7/004 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 065500 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光 树脂 组合 | ||
本发明涉及一种感光树脂组合物,其包含由以下单体聚合得到的流平剂I:丙烯酸六氟丁酯(a)20~40重量份玻璃化温度大于100℃单体(b)20~40重量份马来酰亚胺(c)10~20重量份C8~C18的烯烃单体(d)10~20重量份。本发明提供的感光树脂组合物用来制备彩色滤色片时,能够显著降低光阻材料表面的粗糙度,并有效改善Taper,是一种坡度优良的感光树脂组合物。
技术领域
本发明属于液晶显示器领域,具体涉及一种用于制备彩色滤光片的感光树脂组合物。
背景技术
彩色滤光片是液晶显示器实现彩色化的一个关键器件,而用来制备滤色片的彩色光刻胶/光阻,其性能直接影响到液晶显示器的显示效果。彩色滤光片的一般制备过程包括涂胶-前烘-曝光-显影-后烘,由于在曝光过程中光刻胶表面固化的更好,所以容易出现上部聚合度高,下部聚合度低的现象。这样在显影的冲洗作用下往往会出现倒梯形结构。这种倒梯形结构会在后烘阶段随着光刻胶材料的软化、流动而塌陷成为正梯形,从而形成了边缘的坡度(Taper)。Taper之于彩色滤光片制造过程是一项非常重要的指标,一般要求需要30-60°,如果Taper超过要求,会导致后续ITO溅射工艺/ITO溅射膜的导电性不佳从而导致液晶模组的不良。
现有技术中,在后烘流动的过程中,往往由于熔融状态的光阻对基板/BM的润湿不佳,从而导致Taper出现超规的现象。目前光阻中使用的普通流平剂,如BYK/DIC公司的产品,作用机理均是保证光阻溶液在涂胶过程中的铺展,增强其成膜的平坦度。众所周知,流平剂的作用机理就是靠其在表面的富集从而改变液体的表面能。所以现有的流平剂均会快速迁移到液体表面,而在显影后,现有的普通流平剂容易被显影液冲洗掉,同时冲洗形成的截面处无流平剂,造成对基板/BM的润湿效果不佳。
值得一提的是,如果使用普通流平剂,在显影过程后光刻胶表面只会残余很少量流平剂,导致后烘过程中的流平效果大打折扣,所以对于光阻材料表面的粗糙程度改善有限。其他公司考虑到表面粗糙度的影响,在一些技术方案中,会使用含有双键的流平剂,这样能够保证其在光聚合过程中连接到光阻中,减少显影过程中被冲刷。但是这种固定流平剂的方式对冲洗形成的截面流平少有助益,无法改善Taper。
至此,为改善Taper及光阻表面粗糙度的问题,有必要使用一种新型的流平剂,这种流平剂能够在涂布-前烘-曝光-显影的过程中潜伏在体系内部,有且只有当光阻温度大于100℃时才会逐渐熔融,缓慢迁移至光阻材料的表面,用于解决Taper及粗糙度的问题。
发明内容
本发明旨在解决彩色滤光片制造时,由于流平剂容易被显影液冲洗掉,熔融光刻胶材料润湿基板不佳,从而导致的Taper超规现象。
为此,本发明提供一种感光树脂组合物,该组合物包含主要由如下单体聚合得到的流平剂I:
丙烯酸六氟丁酯(a) 20~40重量份
玻璃化温度大于100℃单体(b) 20~40重量份
马来酰亚胺(c) 10~20重量份
C8~C18的烯烃单体(d) 10~20重量份。
采用本发明的感光树脂组合物制备的彩色滤色片,能够显著降低光阻材料表面的粗糙度,并有效改善Taper。
附图说明
图1:对比例的Taper形貌;
图2:实施例3的Taper形貌。
具体实施方式
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