[发明专利]振动线棒涂布方法及涂布装置

说明书

本发明公开了振动线棒涂布方法及涂布装置，该振动线棒涂布方法以该涂布装置在一基材上涂布形成一薄膜，该涂布装置的转动调整模块带动线棒先以一第一转速转动，且该线棒在与该基材相接处的切线方向和该基材的移动方向反向，可微调薄膜的厚度，进而控制其精准度；该涂布装置的线棒再以一第二转速转动复位，该线棒在与该基材相接处的切线方向和该基材的移动方向同向，其中，第二转速远大于第一转速，该线棒能带动油墨高速拨射而提高均匀度，且该线棒往复转动可控制涂布速度与产量之外，也可限制线棒接触过薄膜的面积，不用整支旋转，可降低对线棒的真直度与圆筒度的要求。

技术领域

本发明是关于一种振动线棒涂布方法及涂布装置，尤指可有效控制涂布厚度与均匀度的振动线棒涂布方法及涂布装置。

背景技术

线棒涂布是目前普遍的涂布方式之一，且在基材上涂布形成的薄膜厚度利用线棒的绕线的线径与密度来控制，请参阅美国第8304027号专利案，其采用固定不旋转的单支线棒，可以涂布出薄又均匀的薄膜，然而固定式线棒的缺点是涂布产线的速度要快，造成后续的烘干作业无法即时配合，且无法有效控制产量，容易造成库存增加，若要烘干作业可配合，则需要增加设备而导致厂内占用的空间增加、成本增加，故不理想。

另外，依据不同的需求而在涂布液中添加混合物时，为了提高涂布形成的薄膜中混合物的均匀度。

参阅日本第2013-034980号专利案，采用单支线棒，且薄膜移动方向和线棒在与基材相接处的切线方向相同时，会增加涂布形成的薄膜厚度，但是线棒持续保持同一转动方向，线棒的外周面皆会与薄膜接触，因此对线棒的真直度、圆筒度的要求高，若线棒的真直度、圆筒度差，会造成薄膜厚度不均匀。

参阅日本第2014-124559号专利案，采用单支线棒，且薄膜移动方向和线棒在与基材相接处的切线方向相反时，能降低涂布形成的薄膜厚度，但是线棒持续保持同一转动方向，线棒的外周面皆会与薄膜接触，因此对线棒的真直度、圆筒度的要求高，若线棒的真直度、圆筒度差，会造成薄膜厚度不均匀。

参阅欧洲第1365287号专利案、欧洲第1803502号专利案与欧洲的2052787号专利案，采用二线棒，该二线棒的旋转方向相同或相反时，虽可弥补单支线棒的不足，但是该二线棒分别保持单一转动方向，线棒的外周面皆会与薄膜接触，因此对线棒的真直度、圆筒度的要求高，若线棒的真直度、圆筒度差，仍会造成薄膜厚度不均匀。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种振动线棒涂布方法及涂布装置，藉此改善目前以固定不转动的线棒无法降低涂布速度的问题，以及改善线棒转动时会提高对真直度与圆筒度的要求的问题。

为达成前揭目的，本发明振动线棒涂布方法，其以一涂布装置在一基材上涂布形成一薄膜，该振动线棒涂布方法包含一往复转动步骤，于该往复转动步骤中，该涂布装置的线棒先以一第一转速于该基材上转动并涂布形成薄膜，于该线棒以该第一转速转动的过程中，该线棒在与该基材相接处的切线方向和该基材的移动方向反向，该涂布装置的线棒再以一第二转速于该基材上转动复位，于该线棒以第二转速转动的过程中，该线棒在与该基材相接处的切线方向和该基材的移动方向同向，其中，该线棒的第二转速大于该线棒的第一转速。

为达成前述的目的，本发明涂布装置用以进行上述的振动线棒涂布方法，该涂布装置包含：

一基座；

一线棒，其跨设于该基座；

一转动调整模块，其设于该基座并连接该线棒，以带动该线棒往复转动。