[发明专利]一种传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种传感器，包括基板，其特征在于，所述传感器还包括至少一个下电极、至少一个中电极和至少一个上电极；所述下电极设置于基板上方，所述中电极、上电极设置于所述下电极的上方且所述下电极、中电极、上电极分别设置于空间中相互平行的的不同平面上，所述传感器的下电极的投影、中电极的投影和上电极的投影相交于投影相交点以形成至少一个微桥，所述传感器还包括与中电极接触的传感材料，所述传感材料设置于投影相交点上。

2.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述传感器的下电极的正投影、中电极的正投影和上电极的正投影相交于投影相交点。

3.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述传感器的下电极的正投影、中电极的正投影和上电极的正投影垂直相交于投影相交点。

4.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述下电极、中电极、上电极的材质为纳米银材料。

5.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述传感材料的厚度为2-3μm。

6.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述传感材料包括醋酸丁酸纤维素、纳米铜功能复合材料或石蜡基功能复合材料。

7.根据权利要求1至6任一项所述的传感器，其特征在于，所述基板为PET基板。

8.根据权利要求1至6任一项所述的传感器，其特征在于，所述中电极的厚度为2μm，宽度为80μm，长度为2mm。

9.根据权利要求1至6任一项所述的传感器，其特征在于，所述上电极的厚度为2μm，宽度为65μm，长度为1888μm。

10.一种传感器的制备方法，应用于权利要求1至9任一项所述的传感器，其特征在于，包括以下步骤：

S1、清洗并吹干基板，加热所述基板；

S2、对所述基板的表面进行氧等离子处理后进行加热；

S3、在所述基板上，利用喷墨打印技术将纳米银溶液打印得到下电极后进行加热；

S4、将光刻胶和丙二醇甲醚醋酸酯进行混合配制得到配制溶液，沿着所述下电极，利用喷墨打印技术将所述配制溶液打印在所述下电极上方后进行加热；

S5、沿与所述下电极垂直的方向，利用喷墨打印技术将所述纳米银溶液在所述光刻胶上进行打印得到中电极后进行加热；

S6、利用喷墨打印技术将传感材料打印在所述中电极与所述光刻胶的重叠区域上后进行加热；

S7、沿着所述下电极，利用喷墨打印技术将所述配制溶液打印在所述传感材料上后进行加热；

S8、利用喷墨打印技术将所述纳米银溶液打印在处理后的基板上得到上电极后进行加热；

S9、利用显影液清除光刻胶。