[发明专利]铝钪合金靶坯及其制备方法及应用在审
| 申请号： | 201711308051.0 | 申请日： | 2017-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN107841643A | 公开（公告）日： | 2018-03-27 |
| 发明（设计）人： | 程银兵;庄志杰;顾宗慧;庄猛 | 申请（专利权）人： | 基迈克材料科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C22C1/04 | 分类号： | C22C1/04;C22C21/00;C23C14/14;C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 王乐 |
| 地址： | 215200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 合金 及其 制备 方法 应用 | ||
1.一种铝钪合金靶坯，其特征在于，所述铝钪合金靶坯包括：
16-50重量份的钪，50-84重量份的铝，所述铝钪合金靶坯的含氧量小于等于160ppm。
2.根据权利要求1所述的铝钪合金靶坯，其特征在于，所述铝钪合金靶坯的晶粒粒度小于等于100μm。
3.一种铝钪合金靶坯的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
取粒径在20-100μm范围内的钪粉和铝粉,将所述钪粉和所述铝粉按配比进行冷等静压，所述钪粉与所述铝粉的质量比为16-50：50-84；
然后在真空度为10-3Pa-0.1Pa下进行真空烧结，再冷却得到铝钪合金靶坯，所述烧结为阶段式升温烧结。
4.根据权利要求3所述的铝钪合金靶坯的制备方法，其特征在于，所述冷等静压的压力为100MPa-300MPa。
5.根据权利要求3所述的铝钪合金靶坯的制备方法，其特征在于，所述阶段式升温为：先以100-200℃/h的速度升温至800-899℃，然后保温2-4h；再以200-400℃/h的速度升温至1000-1200℃，然后保温4-24h。
6.根据权利要求3所述的铝钪合金靶坯的制备方法，其特征在于，所述冷却的降温速度为50-100℃/h。
7.一种铝钪合金靶材，其特征在于，包括背板、以及贴合于所述背板上的铝钪合金靶坯，所述的铝钪合金靶坯为权利要求1或2所述的铝钪合金靶坯。
8.一种铝钪合金靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
将权利要求1或2所述的铝钪合金靶坯贴合于背板上，从而得到铝钪合金靶材。
9.根据权利要求8所述的铝钪合金靶材的制备方法，其特征在于，所述贴合的方式为扩散焊接的方式。
10.一种包括权利要求1或2所述的铝钪合金靶坯在微型机电系统制备中的应用。
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