[发明专利]一种化学气相沉积炉

权利要求书

1.一种化学气相沉积炉，包括炉体(1)和设于所述炉体(1)底部的进气装置，其特征在于，所述进气装置包括有主进气管路(2)、分气器(3)和加热器，所述主进气管路(2)连通所述分气器(3)，所述分气器(3)连通所述炉体(1)内部的炉腔(4)，所述分气器(3)用于向炉腔(4)内均匀分布气流，所述加热器设在所述分气器(3)外部，所述加热器用于对所述分气器(3)加热；

所述分气器(3)上连接有旋转装置(7)，所述旋转装置(7)用于带动分气器(3)旋转。

2.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉，其特征在于，所述分气器(3)上至少设有两个分气孔，所述分气孔连通所述主进气管路(2)和炉腔(4)。

3.根据权利要求2所述的化学气相沉积炉，其特征在于，所述分气器(3)上的所述分气孔呈蜂窝状分布。

4.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉，其特征在于，所述分气器(3)由石墨制成，所述加热器为感应线圈(5)，所述感应线圈(5)设置在所述分气器(3)外侧，所述感应线圈(5)用于对分气器(3)进行感应加热。

5.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉，其特征在于，所述分气器(3)上设有温度传感器(6)。

6.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉，其特征在于，所述炉体(1)内部设有保温层(8)，所述保温层(8)围成所述炉腔(4)。

7.根据权利要求6所述的化学气相沉积炉，其特征在于，所述保温层(8)内侧设有加热体(9)，所述加热体(9)用于对所述炉腔(4)加热。

8.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉，其特征在于，所述炉腔(4)底部设有料板(10)，所述分气器(3)向所述料板(10)均匀分散气体。

9.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉，其特征在于，所述炉体(1)顶部设有排气口(11)。