[发明专利]一种柔刚两用型钙钛矿太阳能电池一体化沉积系统

权利要求书

1.一种柔刚两用型钙钛矿太阳能电池一体化沉积系统，其特征在于：包括前溅射装置(1)、蒸发装置(2)和后溅射装置(3)，所述前溅射装置(1)、蒸发装置(2)和后溅射装置(3)内均设有柔性沉积轨道系统(4)、刚性沉积轨道系统(5)和多个腔室，柔性衬底通过所述柔性沉积轨道系统(4)带动在各个腔室间移动，刚性衬底(506)通过所述刚性沉积轨道系统(5)带动在各个腔室间移动；所述前溅射装置(1)内设有进行ITO溅射沉积的第一前沉积室(13)和进行TiO₂溅射沉积的第一后沉积室(14)，所述蒸发装置(2)内设有进行CH₃NH₃PbI热蒸发沉积的第二前沉积室(23)、进行PbCl₂热蒸发沉积的第二后沉积室(24)和进行退火成膜的第二后过渡室(25)，所述后溅射装置(3)内设有进行NiO电极溅射沉积的第三前沉积室(33)和进行Au电极溅射沉积的第三后沉积室(34)。

2.根据权利要求1所述的柔刚两用型钙钛矿太阳能电池一体化沉积系统，其特征在于：所述前溅射装置(1)、蒸发装置(2)和后溅射装置(3)内的柔性沉积轨道系统(4)结构相同，均包括前保护膜滚轮(401)、放料滚轮(402)、前张力滚轮(403)、前转向滚轮(404)、后转向滚轮(405)、后张力滚轮(406)、后保护膜滚轮(407)和收料滚轮(408)，柔性衬底一端缠绕在所述放料滚轮(402)上，另一端依次绕过前张力滚轮(403)、前转向滚轮(404)、后转向滚轮(405)、后张力滚轮(406)后缠绕在收料滚轮(408)上，在所述放料滚轮(402)下侧设有前保护膜滚轮(401)，在收料滚轮(408)下侧设有后保护膜滚轮(407)。

3.根据权利要求2所述的柔刚两用型钙钛矿太阳能电池一体化沉积系统，其特征在于：所述前溅射装置(1)包括第一上料室(11)、第一前过渡室(12)、第一前沉积室(13)、第一后沉积室(14)、第一后过渡室(15)和第一下料室(16)，其中第一上料室(11)中设有前保护膜滚轮(401)、放料滚轮(402)和前张力滚轮(403)，在所述前保护膜滚轮(401)和前张力滚轮(403)之间设有第一离子源(19)，第一前过渡室(12)内以及第一前沉积室(13)输入端分别设有一个前转向滚轮(404)，在第一前沉积室(13)内设有用于ITO溅射沉积的第一前溅射组件(17)和加热器(6)，在第一后沉积室(14)内设有用于TiO₂溅射沉积的第一后溅射组件(18)和加热器(6)，在第一后沉积室(14)输出端以及第一后过渡室(15)内分别设有一个后转向滚轮(405)，在第一下料室(16)内设有后保护膜滚轮(407)和收料滚轮(408)，刚性沉积轨道系统(5)水平穿过前溅射装置(1)内的各个腔室。

4.根据权利要求2所述的柔刚两用型钙钛矿太阳能电池一体化沉积系统，其特征在于：所述蒸发装置(2)包括第二上料室(21)、第二前过渡室(22)、第二前沉积室(23)、第二后沉积室(24)、第二后过渡室(25)和第二下料室(26)，其中第二上料室(21)中设有前保护膜滚轮(401)、放料滚轮(402)和前张力滚轮(403)，在所述前保护膜滚轮(401)和前张力滚轮(403)之间设有第二离子源(29)，第二前过渡室(22)内以及第二前沉积室(23)输入端分别设有一个前转向滚轮(404)，在第二前沉积室(23)内设有用于CH₃NH₃PbI热蒸发沉积的第二前蒸发组件(27)和加热器(6)，在第二后沉积室(24)内设有用于PbCl₂热蒸发沉积的第二后蒸发组件(28)和加热器(6)，在第二后沉积室(24)输出端以及第二后过渡室(25)内分别设有一个后转向滚轮(405)，另外在第二后过渡室(25)内上侧设有加热器(6)，在第二下料室(26)内设有后保护膜滚轮(407)和收料滚轮(408)，刚性沉积轨道系统(5)水平穿过蒸发装置(2)内的各个腔室。