[发明专利]一种基于扫频OCT的高精度激光三维雕刻装置及方法

权利要求书

1.一种基于扫频OCT的高精度激光三维雕刻装置，包括：激光雕刻系统，其特征在于，还包括：扫频OCT系统，所述扫频OCT系统的样品检测激光的焦点与所述激光雕刻系统的雕刻激光的焦点重合。

2.根据权利要求1所述的一种基于扫频OCT的高精度激光三维雕刻装置，其特征在于：所述扫频OCT系统包括：扫频光源、分光器、反射镜、二维振镜装置、会聚透镜、探测装置、参考镜、计算机、Z轴步进电机，所述扫频光源用于发出扫频激光，所述分光器用于将所述扫频激光分为样品检测激光和参考激光，所述反射镜、二维振镜装置用于依次反射并将所述样品检测激光反射到所述会聚透镜中，所述会聚透镜用于将所述样品检测激光汇聚在待雕刻样品上，所述参考镜用于将所述参考激光反射，所述检测装置用于检测所述参考镜反射的参考激光和待雕刻样品反射的样品检测激光的干涉信号，并将所述干涉信号形成数字信号发送到所述计算机中，所述计算机用于根据所述数字信号控制所述Z轴步进电机。

3.根据权利要求2所述的一种基于扫频OCT的高精度激光三维雕刻装置，其特征在于：所述分光器与所述反射镜之间设有滤波片。

4.根据权利要求3所述的一种基于扫频OCT的高精度激光三维雕刻装置，其特征在于：所述分光器为2×2光纤耦合器，所述2×2光纤耦合器分别与所述扫频光源、探测装置、滤波片、参考镜光路连接。

5.根据权利要求4所述的一种基于扫频OCT的高精度激光三维雕刻装置，其特征在于，所述探测装置包括：平衡探测器、1×2光纤耦合器，所述1×2光纤耦合器的输入端与所述2×2光纤耦合器光路连接，所述1×2光纤耦合器的输出端分别与所述平衡探测器的正向输入端和反向输入端光路连接。

6.根据权利要求1-5任一项所述的一种基于扫频OCT的高精度激光三维雕刻装置，其特征在于：还包括防震平台，所述防震平台一侧用于放置待雕刻样品，另一侧与所述Z轴步进电机的驱动轴连接。

7.一种基于扫频OCT的高精度激光三维雕刻方法，其特征在于,所述方法基于扫频OCT的高精度激光三维雕刻装置，包括步骤：预设雕刻要求并根据要求建立三维CAD模型；根据所述三维CAD模型生成雕刻路线；根据所述雕刻路线控制二维振镜装置、Z轴步进电机移动；一旦雕刻处达到了预设的位置，立刻控制关闭激光雕刻光源，直至移至下一待雕刻处。