[发明专利]一种飞秒激光制备表面增强拉曼散射基底的方法有效

专利信息
申请号: 201711318353.6 申请日: 2017-12-12
公开(公告)号: CN108226123B 公开(公告)日: 2021-02-23
发明(设计)人: 吴立军;王云霞;来辰;郭成成;李强;廖国材 申请(专利权)人: 华南师范大学
主分类号: G01N21/65 分类号: G01N21/65;B82Y40/00
代理公司: 广州容大知识产权代理事务所(普通合伙) 44326 代理人: 刘新年
地址: 510000 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 激光 制备 表面 增强 散射 基底 方法
【权利要求书】:

1.一种飞秒激光制备表面增强拉曼散射基底的方法,其特征在于,包括以下步骤:

步骤1)成膜液配制:配制含聚乙烯吡咯烷酮和硝酸银的水溶液;

步骤2)制膜:将成膜液滴在成膜基底上旋涂,干燥后得到薄膜;

步骤3)蚀刻:将薄膜放在三维纳米位移台上,采用飞秒脉冲激光直写,在薄膜上扫描即可以蚀刻出大面积的银纳米结构;

步骤4)显影:把蚀刻好的薄膜,放置于乙醇中浸泡一段时间,取出,再放到热水中浸泡一段时间后,再取出,吹干,得到银微纳结构基底;

步骤3)中所述激光功率为10~40mw;扫描间距为0.2~0.8um;飞秒脉冲激光的波长为790~810nm,脉宽为130飞秒,脉冲重复频率为76MHz,用100倍数值孔径为1.4的物镜加工薄膜。

2.根据权利要求1所述的飞秒激光制备表面增强拉曼散射基底的方法,其特征在于,所述成膜液中:聚乙烯吡咯烷酮的摩尔浓度范围为0.18~0.22mol/L;硝酸银的摩尔浓度范围为0.1~0.2mol/L。

3.根据权利要求2所述的飞秒激光制备表面增强拉曼散射基底的方法,其特征在于,步骤1)所述的成膜液中,PVP和硝酸银的摩尔浓度比范围为1:1~2:1。

4.根据权利要求1所述的飞秒激光制备表面增强拉曼散射基底的方法,其特征在于,所述激光功率为30~40mw,扫描间距为0.5~0.8um。

5.根据权利要求1所述的飞秒激光制备表面增强拉曼散射基底的方法,其特征在于,步骤2)中旋涂过程为:旋涂机转速为500~700转/min下,转8-10秒,再在1400~1600转/min下,转25~35秒进行旋涂;

干燥过程为:先自然晾干,然后用烘箱在95-105℃下烘9~11分钟,得到薄膜。

6.根据权利要求1所述的飞秒激光制备表面增强拉曼散射基底的方法,其特征在于,步骤1)中成膜液配制过程中需要进行搅拌,所述的搅拌均为超声搅拌,搅拌时间为0.5小时。

7.根据权利要求1所述的飞秒激光制备表面增强拉曼散射基底的方法,其特征在于,步骤4)蚀刻好的薄膜,放在乙醇里浸泡0.5~2小时后,取出,再放到去离子水中,并在烘箱80~95℃中烘0.2~1小时,再取出,用氮气吹干,得到银微纳结构基底。

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