[发明专利]具有实时健康监测和补偿的压力传感器

权利要求书

1.用于测量气体或液体压力的压力传感器，包括：

腔室，所述腔室具有接收气体或液体的入口；

位于腔室内的柔性膜片，所述柔性膜片具有在气体或液体流动通过入口之后暴露于气体或液体的表面；

压力传感器系统，所述压力传感器系统感测由气体或液体的压力变化所导致的柔性膜片的变化；以及

压力不敏感传感器系统，所述压力不敏感传感器系统感测柔性膜片中的不由气体或液体的压力变化所导致的变化，并且所述压力不敏感传感器系统对于柔性膜片中的由气体或液体的压力变化所导致的变化不敏感，

其中压力不敏感传感器系统包括在所述柔性膜片上或所述柔性膜片内的压力不敏感位置处的局部传感器，所述压力不敏感位置经历变化但不响应于气体或液体的压力变化。

2.根据权利要求1所述的压力传感器，其中所述压力不敏感传感器系统包括在暴露于气体或液体的柔性膜片表面上的局部传感器。

3.根据权利要求1所述的压力传感器，其中所述压力不敏感传感器系统包括在不暴露于气体或液体的柔性膜片表面上的局部传感器。

4.根据权利要求1所述的压力传感器，其中：

所述压力传感器系统包括具有电容的可变电容器，所述电容响应于所述气体或液体的压力变化而改变；以及

所述柔性膜片由导电材料制成并且是所述可变电容器的一部分。

5.根据权利要求1所述的压力传感器，其中所述压力不敏感传感器系统包括应变计，所述应变计具有响应于所述柔性膜片的变化而改变的电阻。

6.根据权利要求1所述的压力传感器，其中所述压力不敏感传感器系统包括压电传感器，所述压电传感器具有响应于所述柔性膜片的变化而改变的电压。

7.根据权利要求1所述的压力传感器，还包括补偿系统，所述补偿系统基于由所述压力不敏感传感器系统所感测的所述柔性膜片的变化来补偿由压力传感器系统所进行的测量中的误差，所述误差是由于所述柔性膜片中的不由所述气体或液体的压力变化导致的变化。

8.根据权利要求1所述的压力传感器，还包括寿命测量系统，所述寿命测量系统基于由所述压力不敏感传感器系统所感测到的所述柔性膜片的变化而提供指示所述压力传感器系统的预计剩余寿命的信息。

9.根据权利要求8所述的压力传感器，其中所述寿命测量系统包括警告系统，当所述压力传感器系统的预计剩余寿命等于或超过阈值时，所述警告系统发出警告。

10.用于测量气体或液体压力的压力传感器，包括：

腔室，所述腔室具有接收气体或液体的入口；

位于腔室内的柔性膜片，所述柔性膜片具有在气体或液体流动通过入口之后暴露于气体或液体的表面；

压力传感器系统，所述压力传感器系统感测由气体或液体的压力变化所导致的柔性膜片的变化；以及

压力不敏感传感器系统，所述压力不敏感传感器系统感测柔性膜片中的不由气体或液体的压力变化所导致的变化，并且所述压力不敏感传感器系统对于柔性膜片中的由气体或液体的压力变化所导致的变化不敏感，

其中所述柔性膜片是第一柔性膜片；

其中所述压力不敏感传感器系统包括与第一柔性膜片分离的第二柔性膜片；以及

其中所述第二柔性膜片具有在气体或液体流动通过入口之后暴露于所述气体或液体的表面。

11.根据权利要求10所述的压力传感器，其中所述第二柔性膜片的尺寸、形状和材料组成与所述第一柔性膜片实质上相同。

12.根据权利要求10所述的压力传感器，其中所述第二柔性膜片的尺寸、形状或材料组成与所述第一柔性膜片实质上不同。