[发明专利]一种超纯氢气纯化吸附剂材料及应用在审
申请号: | 201711319701.1 | 申请日: | 2017-12-12 |
公开(公告)号: | CN109908892A | 公开(公告)日: | 2019-06-21 |
发明(设计)人: | 李慧;徐恒泳;唐春华 | 申请(专利权)人: | 中国科学院大连化学物理研究所 |
主分类号: | B01J23/34 | 分类号: | B01J23/34;B01J23/755;C01B3/58;B01D53/02 |
代理公司: | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人: | 马驰 |
地址: | 116023 辽宁省*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 纯化吸附剂 超纯氢气 吸附剂材料 电子行业 使用寿命 氢气 超纯氢 规模化 脱除 半导体 再生 应用 | ||
1.一种超纯氢气纯化吸附剂材料,其特征在于:
包括负载型催化剂Ni/Al2O3和TiZrMnOx基复合氧化物;Ni/Al2O3中Ni的质量负载量为5-10%;TiZrMnOx中x=2-3,Ti、Zr、Mn的摩尔比(1-5):(1-5):1。
2.如权利要求1所述的附剂材料,其特征在于:CO吸附剂为负载Ni催化剂,可以通过浸渍方法制备,Ni/Al2O3催化剂的典型制备过程为——将20-30目的α-Al2O3载体浸渍于含有Ni(NO3)2的去离子水溶液中,过夜,水浴烘干,100-120℃干燥,500-800℃下焙烧5-10h,氢气气氛下在300-600℃下还原3-10h,得到Ni/Al2O3催化剂。
3.如权利要求1所述的附剂材料,其特征在于:
TiZrMnOx基复合氧化物通过真空电弧炉熔炼制备,制备过程:1)称取Ti、Zr、Mn纯金属原料,
2)利用非自耗真空电弧炉熔炼合金钮扣锭:将合金原料均匀的放入坩埚中,对炉体进行抽真空,炉体内真空度要求达到(6-10)×10-3Pa,然后充入2-4KPa的纯氩气,使整个熔炼过程在氩气气氛下进行;熔炼过程中,根据调整电流的大小来控制温度1200-1800℃;每一个合金钮扣锭的每一次熔炼时间为3-10分钟;每一个合金成分的钮扣锭熔炼次数均为8-10次,以保证各合金全部融化并分布均匀。
4.一种权利要求1、2或3所述附剂材料的应用,其特征在于:进行超纯氢气纯化过程;
采用首先Ni/Al2O3催化剂吸附、然后TiZrMnOx基复合氧化物吸附的两段吸附工艺,先后分别除去CO和N2;
CO吸附为常温过程;N2吸附为300-600℃的加热过程。
5.如权利要求4所述的应用,其特征在于:
采用第一段二个并联催化剂吸附管加第二段二个并联吸附管的先后二段串联组合工序,二个并联催化剂吸附管交替吸附和再生,同时两个并联吸附管交替吸附和再生。
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