[发明专利]双模式智能响应的激光防护结构及具备该结构的光学探测器有效
申请号: | 201711322249.4 | 申请日: | 2017-12-12 |
公开(公告)号: | CN109917498B | 公开(公告)日: | 2020-01-17 |
发明(设计)人: | 金平实;曹逊;杨阳 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
主分类号: | G02B1/14 | 分类号: | G02B1/14 |
代理公司: | 31261 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 曹芳玲;熊子君 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 二氧化钒薄膜 激光防护 智能响应 双模式 遮挡 光学探测器 激光 控制电路 可控 启动信号驱动 光电开关 激光光路 依次设置 金属态 入射侧 导通 发送 侧面 | ||
1.一种双模式智能响应的激光防护结构,其特征在于,包括:从激光防护对象侧面向激光入射侧依次设置的第一二氧化钒薄膜、第二二氧化钒薄膜、以及可控激光遮挡阀;其中,所述第二二氧化钒薄膜的相变阈值高于所述第一二氧化钒薄膜的相变阈值,且不高于所述第一二氧化钒薄膜的破坏阈值;所述第二二氧化钒薄膜作为光电开关连接到控制电路中,在所述第二二氧化钒薄膜相变为金属态时导通所述控制电路而发送启动信号驱动所述可控激光遮挡阀遮挡激光光路。
2.根据权利要求1所述的双模式智能响应的激光防护结构,其特征在于,所述第二二氧化钒薄膜的相变阈值比所述第一二氧化钒薄膜的破坏阈值低0~20 mJ/cm2。
3.根据权利要求1或2所述的双模式智能响应的激光防护结构,其特征在于,所述第一二氧化钒薄膜的相变阈值为5~30mJ/cm2,所述第二二氧化钒薄膜的相变阈值为20~200mJ/cm2。
4.根据权利要求1或2所述的双模式智能响应的激光防护结构,其特征在于,所述第一二氧化钒薄膜的厚度为30~300nm,所述第二二氧化钒薄膜的厚度为20~300nm。
5.根据权利要求1或2所述的双模式智能响应的激光防护结构,其特征在于,
所述第一二氧化钒薄膜和所述第二二氧化钒薄膜生长在激光防护对象上,或者
所述第一二氧化钒薄膜和所述第二二氧化钒薄膜生长在外部同一块衬底上,或者
所述第一二氧化钒薄膜生长在激光防护对象上,所述第二二氧化钒薄膜生长在外部衬底上,或者
所述第一二氧化钒薄膜和所述第二二氧化钒薄膜生长在外部两块不同的衬底上。
6.根据权利要求1或2所述的双模式智能响应的激光防护结构,其特征在于,所述激光防护对象为光学探测器。
7.根据权利要求1或2所述的双模式智能响应的激光防护结构,其特征在于,所述第一二氧化钒薄膜和/或所述第二二氧化钒薄膜至少在其面向激光入射侧的表面上具有光学增透层。
8.根据权利要求7所述的双模式智能响应的激光防护结构,其特征在于,所述光学增透层含有二氧化硅、二氧化钛、氧化锌、氮化硅、氮化镓、WO3-x、MyWO3中的至少一种,其中0<x<0.9、0<y≤1,M为Cs、Rb、K、Na、Li、Be、Mg、Ca、Sr和Ba中的至少一种。
9.根据权利要求1或2所述的双模式智能响应的激光防护结构,其特征在于,所述可控激光遮挡阀采用镀银处理的钢片或铜片。
10.一种光学探测器,其特征在于,在所述光学探测器的镜头或窗口设有权利要求1至9中任一项所述的激光防护结构。
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