[发明专利]一种固晶机的顶针装置在审
申请号: | 201711326205.9 | 申请日: | 2017-12-13 |
公开(公告)号: | CN108054128A | 公开(公告)日: | 2018-05-18 |
发明(设计)人: | 汤志鹏;殷海涛 | 申请(专利权)人: | 苏州聚进顺自动化科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/687 |
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地址: | 215000 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 固晶机 顶针 装置 | ||
本发明公开了一种固晶机的顶针装置。具体包括顶针装置和驱动装置,所述顶针装置包括固定座,所述固定座内设置有可在固定座内上下移动的顶针,所述顶针通过驱动装置驱动其上下运动,所述固定座上设置通孔和顶针孔,所述通孔连接真空设备,所述顶针孔与顶针位置相对应;所述顶针包括依次相连的第一部分、第二部分和第三部分,所述第三部分外套设有导向轴承,所述第二部分直径大于导向轴承的内径。本发明的顶针装置结构简单,通过将顶针设置成依次相连的第一部分、第二部分和第三部分,通过导向轴承,防止顶针倾斜。
技术领域
本发明涉及一种固晶机的顶针装置,属于半导体贴片封装技术领域。
背景技术
固晶机是 LED 生产线上后封装工序必备的关键机械设备之一,其机械部分包括邦头组件、顶针组件、晶片工作台组件、光学系统、氧化物点胶组件和旋转定位机构组件。
固晶机的固晶过程是 :由手动或上料机构把把基片或 PCB 传送到夹具的工作位置,先由点胶机构将基片或 PCB 需要键盒晶片的位置点胶,然后取晶臂从原点位置运动到吸晶片的位置,晶片放置在薄膜支撑的扩张器晶片盘上,取晶臂到位后吸嘴向下运动,顶针向上运动顶起晶片,在拾取晶片后键合原点位置,这样就是一个完整的键合过程。
这要求顶针要将晶片沿垂直于工作台安装面的方向顶起,不能有倾斜的现象出现,但是在现有技术中,由于顶针的长期使用造成磨损,容易产生倾斜,造成工作效率的降低。
发明内容
为了克服现有技术的不足,本发明提供了一种固晶机的顶针装置。
本发明是通过以下技术方案来实现的:
一种固晶机的顶针装置,包括顶针装置和驱动装置,所述顶针装置包括固定座,所述固定座内设置有可在固定座内上下移动的顶针,所述顶针通过驱动装置驱动其上下运动,所述固定座上设置通孔和顶针孔,所述通孔连接真空设备,所述顶针孔与顶针位置相对应;所述顶针包括依次相连的第一部分、第二部分和第三部分,所述第三部分外套设有导向轴承,所述第二部分直径大于导向轴承的内径。
所述的一种固晶机的顶针装置,所述导向轴承外套设有弹性垫圈。
所述的一种固晶机的顶针装置,所述固定座内设置有限位件,所述第二部分设置有限位件对应的卡槽。
所述的一种固晶机的顶针装置,所述顶针一体成型。
所述的一种固晶机的顶针装置,所述第一部分外套设有弹簧,所述弹簧的直径大于顶针孔的直径。
所述的一种固晶机的顶针装置,所述通孔设置有多个,并且均匀的设置在顶针孔周围。
本发明所达到的有益效果:
本发明的顶针装置结构简单,通过连接真空设备的通孔吸附晶片薄膜,同时,设置顶针孔,减少通孔处的真空对晶片产生的影响,避免了晶片被吸附,从而提高了工作效率;通过将顶针设置成依次相连的第一部分、第二部分和第三部分,通过导向轴承,防止顶针倾斜。
附图说明
图1是本发明的结构示意图。
图2是顶针的俯视图。
图中:1、驱动装置,2、固定座,3、顶针,31、第一部分,32、第二部分,33、第三部分,4、通孔,5、顶针孔,6、真空设备,7、导向轴承,8、弹性垫圈,9、限位件,10、卡槽,11、弹簧。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明的技术方案,而不能以此来限制本发明的保护范围。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造