[发明专利]静电卡盘装置和静电吸附方法

权利要求书

1.一种静电卡盘装置，其在大气压环境下对被保持物进行静电吸附，其特征在于，

该静电卡盘装置具有：

静电卡盘工作台，其具有电极和保持面；以及

离子化空气提供单元，其对该保持面上所保持的该被保持物的露出面提供离子化空气，

该电极具有在被保持物的静电吸附时被提供电荷的功能，

该离子化空气提供单元具有如下的功能：对该被保持物的露出面提供电荷的极性与提供给该电极的电荷的极性相反的离子，来维持该被保持物的该露出面侧的电荷。

2.根据权利要求1所述的静电卡盘装置，其特征在于，

该被保持物在一个面上设置有保护部件，

将该被保持物隔着该保护部件而静电吸附在该保持面上。

3.一种静电吸附方法，其特征在于，该静电吸附方法具有如下的步骤：

载置步骤，将被保持物载置在具有电极和保持面的静电卡盘工作台的该保持面上；

吸引控制步骤，对该电极提供电荷，产生静电吸引力；以及

吸引辅助步骤，对该被保持物的露出面提供电荷的极性与提供给该电极的电荷的极性相反的离子化空气，来维持该被保持物的该露出面的电荷，对静电吸引力的控制进行辅助。