[发明专利]厚度检测方法和装置、以及厚度图像传感器有效
申请号: | 201711326813.X | 申请日: | 2017-12-12 |
公开(公告)号: | CN108413881B | 公开(公告)日: | 2020-05-12 |
发明(设计)人: | 戚务昌;张凯;曲传伟;杜忺峰 | 申请(专利权)人: | 威海华菱光电股份有限公司 |
主分类号: | G01B11/06 | 分类号: | G01B11/06 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 赵囡囡 |
地址: | 264209 山东省威海*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 厚度 检测 方法 装置 以及 图像传感器 | ||
1.一种厚度检测方法,其特征在于,所述厚度检测方法包括:
获取厚度图像传感器中每个感应电极素子感应待测物的电信号值,其中,所述厚度图像传感器包括多个感应电极素子;
获取每个感应电极素子的校正参数值,其中,每个感应电极素子的校正参数值与对应感应电极素子的感度值相关,不同厚度的胶带得到的所述校正参数值不同;
分别计算每个感应电极素子的无胶带图像数据Vn(i,j)、有胶带图像数据的Vt(i,j)的均值AveVn(j)、AveVt(j);对所述有胶带图像数据的均值与所述无胶带图像数据均值做差,得到感度AveDev(j)=AveVt(j)-AveVn(j),其中,i为图像数据的行数,j为图像数据的列数;
通过如下公式计算每个感应电极素子的校正参数值K(j):K(j)=AveDev(q)/AveDev(j),或,K(j)=预设目标值/AveDev(j),其中,AveDev(q)为所有感应电极素子感度值的最大值,q表示最大值发生对应感应电极素子所处的列数;
通过每个感应电极素子的校正参数值对对应感应电极素子感应所述待测物的电信号值进行校正,得到每个感应电极素子的厚度像素值;
通过以下方式根据所述厚度像素值计算所述待测物的厚度D:
D=F(x)·D(λ)/预设目标值,
其中,F(x)为所述厚度像素值,D(λ)为标准胶带厚度,λ=1,2,3,...n,n为大于或等于1的整数。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,获取每个感应电极素子的校正参数值包括:
获取每个感应电极素子感应第一厚度的样本得到的第一电信号值;
获取每个感应电极素子感应第二厚度的样本得到的第二电信号值;
计算每个感应电极素子的所述第一电信号值和所述第二电信号值之差,得到每个感应电极素子的感度值;
对所述多个感应电极素子的感度值进行归一化,得到每个感应电极素子的校正参数值。
3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,对所述多个感应电极素子的感度值进行归一化包括:
通过归一化数值对所述多个感应电极素子的感度进行归一化,其中,所述归一化数值为所述多个感应电极素子的感度值中的最大值或者预设数值。
4.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,获取每个感应电极素子感应目标厚度的样本得到的电信号值包括:
通过所述厚度图像传感器检测多次所述目标厚度的样本;
确定每个感应电极素子每次感应所述目标厚度的样本得到的电信号值,得到每个感应电极素子的多个电信号值;
计算每个感应电极素子的多个电信号值的平均值,得到每个感应电极素子感应所述目标厚度的样本的电信号值。
5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,通过每个感应电极素子的校正参数值对对应感应电极素子感应所述待测物的电信号值进行校正包括:
根据所述厚度图像传感器在空扫情况下每个感应电极素子的电信号值确定对应感应电极素子的空扫电信号值;
将每个感应电极素子感应所述待测物的电信号值与所述空扫电信号值相减,得到每个感应电极素子的待校正电信号值;
通过每个感应电极素子的校正参数值对对应感应电极素子的待校正电信号值进行校正,得到每个感应电极素子的厚度像素值。
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