[发明专利]压力传感器

权利要求书

1.一种压力传感器（100，1100），包括：

壳体（105,1105），所述壳体（105,1105）包括上壳体（201）和下壳体（202, 1202），所述上壳体（201）和所述下壳体（202, 1202）的设置使得在所述上壳体（201）和所述下壳体（202, 1202）之间形成一个容腔；

振膜（210），所述振膜（210）设置在所述上壳体（201）和所述下壳体（202, 1202）之间，并将所述容腔分隔成上容腔（215）和下容腔（216）；

磁芯（218），所述磁芯（218）随所述振膜（210）的运动而运动；

其特征在于所述振膜（210）包括：

支撑体（212）和围绕所述支撑体（212）的薄皮（213），所述薄皮（213）从所述支撑体（212）的边缘（460）延伸而出，所述磁芯（218）由所述支撑体（212）承载；以及

补偿弹性部件，所述补偿弹性部件包括弹性棒（217），所述弹性棒（217）从所述支撑体（212）向下延伸并由所述下壳体（202）支撑；

其中所述支撑体（212）和所述弹性棒（217）一体形成。

2.如权利要求1所述的压力传感器（100，1100），其特征在于还包括：

线圈（251），所述线圈（251）被固定到所述壳体（105,1105）上，所述线圈（251）与所述磁芯（218）配合工作，以形成可变的电感感应器。

3.如权利要求1所述的压力传感器（100，1100），其特征在于：

所述支撑体（212）的外轮廓具有支撑体外径，所述磁芯（218）具有磁芯外径，所述支撑体外径被设置为等于、略大于或略小于所述磁芯外径;或

所述支撑体外径与所述磁芯外径之比在0.85-1.6之间。

4.如权利要求1所述的压力传感器（100，1100），其特征在于：

所述磁芯（218）与所述支撑体（212）接触。

5.如权利要求1所述的压力传感器（100，1100），其特征在于：

所述薄皮（213）从所述支撑体（212）的所述边缘（460）开始朝向所述上容腔（215）拱起，以形成拱起部（470）。

6.如权利要求1所述的压力传感器（100，1100），其特征在于：

所述振膜（210）包括围绕所述薄皮（213）设置的密封边缘（230），所述密封边缘（230）被夹持在所述上壳体（201）和所述下壳体（202，1202）之间，以便密封地将所述下容腔（216）与所述上容腔（215）分开；以及

所述薄皮（213）包括拱起部（470），所述拱起部（470）横跨在所述支撑体（212）的所述边缘（460）与所述密封边缘（230）之间。

7.如权利要求6所述的压力传感器（100，1100），其特征在于：

所述薄皮（213）在与所述支撑体（212）的所述边缘（460）和所述密封边缘（230）的连接处开始拱起，以形成所述拱起部（470）。

8.如权利要求1所述的压力传感器（100，1100），其特征在于：

所述支撑体（212）的所述边缘（460）具有过渡区（465），所述过渡区（465）为从平到拱的形状上的过渡区和/或从厚到薄的厚度上的过渡区。

9.如权利要求1所述的压力传感器（100，1100），其特征在于：

用于所述振膜（210）的所述补偿弹性部件被配置成夹在所述下壳体（202，1202）的底部（252）和所述振膜（210）之间。

10.如权利要求9所述的压力传感器（100，1100），其特征在于：

所述弹性棒（217）设置在所述振膜（210）的所述支撑体（212）下部，所述弹性棒（217）能够与所述下壳体（202，1202）的所述底部（252）接触。