[发明专利]一种银纳米线导电膜的刻蚀液及其使用方法在审
申请号: | 201711330168.9 | 申请日: | 2017-12-13 |
公开(公告)号: | CN108048842A | 公开(公告)日: | 2018-05-18 |
发明(设计)人: | 司荣美;潘中海;刘彩风 | 申请(专利权)人: | 天津宝兴威科技股份有限公司 |
主分类号: | C23F1/30 | 分类号: | C23F1/30 |
代理公司: | 天津市新天方有限责任专利代理事务所 12104 | 代理人: | 张强 |
地址: | 301800 天津*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 纳米 导电 刻蚀 及其 使用方法 | ||
本发明是一种银纳米线导电膜的刻蚀液及其使用方法,所述刻蚀液组分及质量百分比如下:醋酸:10~30%;氨水:5~10%;无机金属盐:10~20%;过氧化氢:6~16%;水溶性聚合物:3~15%;二氧化硅:4%;羧甲基纤维素:3%;乙二醇:2~17%;去离子水:10~30%。使用本发明制备的银纳米线导电膜具有成膜表面导电性能稳定,电阻率低,透光率高,附着力强的特点,本发明的制备工艺过程简单成熟,设备简单,操作方便,成本低廉,便于推广应用。此外,使用本发明制备的银纳米线导电膜具有化学稳定性良好,防腐性能优异的特性,不含强酸或强碱,环境污染小,可用于电磁屏蔽及电子电路等领域,具有广泛应用价值。
技术领域
本发明涉及一种刻蚀液技术领域,尤其涉及一种银纳米线导电膜的刻蚀液及其使用方法。
背景技术
目前工业制造透明导电薄膜以氧化物为主,氧化物透明导电薄膜由于其具有较低的电阻率、高可见光透过率等优点而作为透明电极广泛应用在平面显示、太阳能电池、触摸屏、可加热玻璃窗中等。ITO(Indium Tin Oxide)是目前应用最广泛的透明材料,ITO是一种N型氧化物半导体-氧化铟锡,评价ITO薄膜好坏最关键的两项指标是透光率和导电率,在氧化物导电膜中,以掺Sn的In
发明内容
本发明旨在解决现有技术的不足,而提供一种银纳米线导电膜的刻蚀液及其使用方法。
本发明为实现上述目的,采用以下技术方案:
一种银纳米线导电膜的刻蚀液,其特征在于,所述刻蚀液组分及质量百分比如下:
醋酸:10~30%;
氨水:5~10%;
无机金属盐:10~20%;
过氧化氢:6~16%;
水溶性聚合物:3~15%;
二氧化硅:4%;
羧甲基纤维素:3%;
乙二醇:2~17%;
去离子水:10~30%。
进一步地,所述醋酸的质量分数为65%,所述氨水的质量分数为25%~28%。
进一步地,所述无机金属盐包括醋酸铁、氯化铁、醋酸钾中的一种或几种。
进一步地,所述水溶性聚合物包括改性纤维素、聚乙烯醇、聚乙二醇的一种或几种。
本发明还提供一种上述银纳米线导电膜的刻蚀液的使用方法,其特征在于,将银纳米线导电膜浸泡在刻蚀液中,常温放置5-15分钟,然后用纯净水清洗银纳米线导电膜,将银纳米线导电膜风干或烘干。
本发明的有益效果是:使用本发明制备的银纳米线导电膜具有成膜表面导电性能稳定,电阻率低,透光率高,附着力强的特点,本发明的制备工艺过程简单成熟,设备简单,操作方便,成本低廉,便于推广应用。此外,使用本发明制备的银纳米线导电膜具有化学稳定性良好,防腐性能优异的特性,不含强酸或强碱,环境污染小,可用于电磁屏蔽及电子电路等领域,具有广泛应用价值。
具体实施方式
下面结合实施例对本发明作进一步说明:
实施例1一种银纳米线导电膜的刻蚀液,其特征在于,所述刻蚀液组分及质量百分比如下:
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