[发明专利]制备碳纳米管薄膜的方法有效
申请号: | 201711332304.8 | 申请日: | 2017-12-13 |
公开(公告)号: | CN109913861B | 公开(公告)日: | 2021-07-30 |
发明(设计)人: | 许海涛 | 申请(专利权)人: | 北京华碳元芯电子科技有限责任公司 |
主分类号: | C23C20/06 | 分类号: | C23C20/06 |
代理公司: | 北京庚致知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11807 | 代理人: | 李伟波;韩德凯 |
地址: | 101300 北京市顺*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 制备 纳米 薄膜 方法 | ||
1.一种制备碳纳米管薄膜的方法,其特征在于,包括:
使碳纳米管溶液与基底的表面相接触,并使所述碳纳米管溶液相对于所述基底的所述表面沿设定方向移动;以及
将所述基底的所述表面与所述碳纳米管溶液分离,并对所述基底的所述表面进行干燥处理,以在所述基底的所述表面上形成碳纳米管薄膜,
其中,在所述碳纳米管溶液移动时通过控制所述碳纳米管溶液的移动速度,来确定形成的所述碳纳米管薄膜中碳纳米管的取向程度,在所述基底的表面上形成的所述碳纳米管薄膜在所述碳纳米管溶液的移动方向上是择优取向的,
所述基底设置在流体连通的多个容器中,在每个容器中均设有待沉积碳纳米管薄膜的基底,从前一容器流出的碳纳米管溶液能够流入与其流体连通的后一容器,从而允许碳纳米管溶液能够在多个容器中循环使用,并且在每个容器设置的基底的表面均能够形成有碳纳米管薄膜。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,使所述碳纳米管溶液相对于所述基底的所述表面沿设定方向移动的步骤包括:使所述碳纳米管溶液相对于所述基底的所述表面以设定速率沿设定方向移动。
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,
所述基底为刚性基底,以及
使所述碳纳米管溶液相对于所述基底的所述表面沿设定方向移动的步骤包括:使所述碳纳米管溶液形成为在所述基底的所述表面上流动的连续流。
4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,使所述碳纳米管溶液形成为在所述基底的所述表面上流动的连续流的步骤包括:使所述碳纳米管溶液从容器的第一端流入该容器,并从该容器的第二端流出该容器,
其中,所述基底设置在所述容器中。
5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述碳纳米管溶液为单壁碳纳米管溶液。
6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述碳纳米管薄膜的密度和所述碳纳米管薄膜中碳纳米管的取向程度、与所述碳纳米管溶液的浓度和相对移动速度相关。
7.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,所述刚性基底包括:硅基底、玻璃基底、塑料基底、或金属基底。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C20-00 通过固态覆层化合物抑或覆层形成化合物悬浮液分解且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C20-02 .镀金属材料
C23C20-06 .镀金属材料以外的无机材料
C23C20-08 ..镀化合物、混合物或固溶体,例如硼化物、碳化物、氮化物
C23C20-04 ..镀金属