[发明专利]一种延长聚酰亚胺介质阻挡放电等离子体激励器使用寿命的表层改性装置与改性方法

权利要求书

1.一种延长聚酰亚胺介质阻挡放电等离子体激励器使用寿命的表层改性装置，包括：充有惰性气体的第一气瓶(101)、充有氟气/惰性气体混合气体的第二气瓶(102)、反应釜(103)、第二阀门(105)、第四阀门(106)、第三阀门(107)、第一阀门(109)、气压计(108)、测温元件(110)、加热装置(113)、真空泵(111)和尾气处理装置(112)；其中

反应釜(103)由中空圆柱形腔体和中空半球形密封盖两部分组成，两者通过密闭连接装置连接；

反应釜(103)的圆柱形腔体挨近底部的侧面开有通孔，用于布置加热装置113；

反应釜(103)的密封盖上开有可内外联通的四个接口，分别为：气体输送接口，用于连接第一气瓶(101)和第二气瓶(102)；气体抽出接口，用于连接真空泵(111)；气压测量接口，用于连接气压计(108)，气压计(108)用于监控反应釜(103)内气压状态的变化；温度测量接口，用于连接测温元件(110)，测温元件(110)一方面用于监控反应釜内温度的变化，另一方面将该温度变化及时反映输出给加热装置(113)，以便与加热装置(113)协调运作，共同控制反应釜(103)内温度；

设置尾气处理装置(112)，用于处理氟化反应后从真空泵(111)中抽出的反应残留气体；

激励器(104)放置在反应釜(103)圆柱形腔体底部之上，用做氟化设备的反应对象。

2.如权利要求1所述的延长聚酰亚胺介质阻挡放电等离子体激励器使用寿命的表层改性装置，其中反应釜(103)的密闭连接装置由螺栓、螺母和密封垫圈组成。

3.如权利要求1所述的延长聚酰亚胺介质阻挡放电等离子体激励器使用寿命的表层改性装置，其中气体输送接口与气体抽出接口布置在密封盖上左右两侧大致对称的位置，气压测量接口布置在密封盖大致中心的位置，温度测量接口布置在密封盖上左侧或右侧。

4.如权利要求1所述的延长聚酰亚胺介质阻挡放电等离子体激励器使用寿命的表层改性装置，其中第一气瓶(101)与第二气瓶(102)通过2in1的“Y”型导管与气体输送接口连同，继而与反应釜(103)连接，在“Y”型导管的两个枝丫上分别布置第二阀门(105)与第四阀门(106)作为第一气瓶(101)与第二气瓶(102)各自的供气开关。

5.如权利要求4所述的延长聚酰亚胺介质阻挡放电等离子体激励器使用寿命的表层改性装置，其中为了防止气体的泄漏，在“Y”型导管的下半部型导管上设置第三阀门(107)作为第二道开关，以保证氟化反应的安全进行。

6.如权利要求1所述的延长聚酰亚胺介质阻挡放电等离子体激励器使用寿命的表层改性装置，其中第一阀门(109)布置在真空泵(111)与反应釜(103)之间的导管上，作为真空泵(111)的抽气开关，用于控制反应釜(103)内气体的抽出。