[发明专利]一种基于有效光强分布的蛾眼结构制备系统及其制备方法

权利要求书

1.一种基于有效光强分布的蛾眼结构制备系统，其特征在于，包括：固体激光器、光束整形器、光束扩束器、光束分束器、六个或六个以上光束调整及能量控制组件、二维位移样品台和计算机；所述固体激光器发出激光光束后，所述激光光束依次经所述光束整形器、光束扩束器和光束分束器后形成六束或六束以上相干光束，再经光束调整及能量控制组件后，在位于所述二维位移样品台的样品表面干涉形成周期性蛾眼结构干涉图样，所述二维位移样品台的移动可通过计算机或人工控制，所述光束分束器用于实现相干光束的分光。

2.根据权利要求1所述的制备系统，其特征在于，所述光束分束器为一片衍射元件；所述光束调整及能量控制组件包括反射元件以及由偏振片和波片组成的能量控制元件。

3.根据权利要求1所述的制备系统，其特征在于，通过控制二维位移样品台的移动可对光束调整及能量控制组件的参数进行调节，所述参数包括相干光束的有效光强、入射角、光束位置、相位。

4.根据权利要求1所述的制备系统，其特征在于，所述蛾眼结构为具有六边形、双周期分布的蛾眼结构。

5.根据权利要求1所述的制备系统，其特征在于，所述二维位移样品台可水平旋转。

6.根据权利要求1所述的制备系统，其特征在于，所述制备系统的曝光表面既可以是平面，也可以是非平面；系统曝光既可以是干涉后单次曝光，也可以采用多次曝光如双光束干涉。

7.一种基于有效光强分布的蛾眼结构的制备方法，其特征在于，利用权利要求1-6任一项所述的制备系统制备，包括步骤：

S101、固体激光器发出激光光束后，所述激光光束依次经所述光束整形器、光束扩束器和光束分束器后形成六束或六束以上相干光束；

S102、所述相干光束经光束调整及能量控制组件后，在位于所述二维位移样品台的样品表面干涉形成周期性蛾眼结构干涉图样。

8.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，所述二维位移样品台的移动可通过计算机或人工控制，通过控制二维位移样品台的移动可对光束调整及能量控制组件的参数进行调节，所述参数包括相干光束的有效光强、入射角、光束位置、相位。

9.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，通过匹配光强与样品材料阈值之间的关系，来形成所需要的光刻图形。

10.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，采用多次曝光时，既可以通过样品所在平面的转动实现，也可以通过改变入射光的空间位置来实现。