[发明专利]一种锂电池用钼氧化物/金刚石负极复合材料及其制备方法

权利要求书

1.一种锂电池用钼氧化物/金刚石负极复合材料，其特征在于，所述锂电池用钼氧化物/金刚石负极复合材料的结构由下至上依次包括：包括钼基底、掺杂金刚石薄膜和石墨薄膜，所述掺杂金刚石薄膜中含有掺杂元素，所述掺杂元素为硼和氮；

所述掺杂金刚石薄膜中各元素的原子百分含量为：碳 75~80 at. %，硼 10~15 at. %，氮 5~15 at. %；

所述锂电池用钼氧化物/金刚石负极复合材料的制备包括以下方法：

（1）钼基底清洗；

（2）向沉积室中通入氩气、碳源气体、氨气和乙硼烷，开启偏压电源，在钼基底上溅射沉积掺杂金刚石薄膜，得到A1；

（3）继续向沉积室中通入氩气，开启偏压电源，以石墨靶为靶材，在A1上沉积石墨薄膜，得到锂电池用钼氧化物/金刚石负极复合材料。

2.根据权利要求1所述的锂电池用钼氧化物/金刚石负极复合材料，其特征在于，所述金刚石薄膜的厚度为20~50微米，所述石墨薄膜的厚度为30~80微米。

3.一种根据权利要求1或2所述的锂电池用钼氧化物/金刚石负极复合材料的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

（1）钼基底清洗；

（2）向沉积室中通入氩气、碳源气体、氨气和乙硼烷，开启偏压电源，在钼基底上溅射沉积掺杂金刚石薄膜，得到A1；

（3）继续向沉积室中通入氩气，开启偏压电源，以石墨靶为靶材，在A1上沉积石墨薄膜，得到锂电池用钼氧化物/金刚石负极复合材料。

4.根据权利要求3所述的锂电池用钼氧化物/金刚石负极复合材料的制备方法，其特征在于，在步骤（2）中，所述碳源气体的流量为150~250 sccm。

5.根据权利要求3所述的锂电池用钼氧化物/金刚石负极复合材料的制备方法，其特征在于，所述氨气的流量为50~150 sccm；和/或

所述乙硼烷的流量为20~40 sccm。

6.根据权利要求3所述的锂电池用钼氧化物/金刚石负极复合材料的制备方法，其特征在于，所述碳源气体的流量为200~220ccm；和/或

所述氨气的流量为60~100 sccm；和/或

所述乙硼烷的流量为25~35sccm。

7.根据权利要求3所述的锂电池用钼氧化物/金刚石负极复合材料的制备方法，其特征在于，所述溅射沉积的时间为30~60min。

8.根据权利要求3所述的锂电池用钼氧化物/金刚石负极复合材料的制备方法，其特征在于，在步骤（3）中，所述沉积的时间为45~90min。