[发明专利]一种玻璃基板减薄蚀刻液

权利要求书

1.一种玻璃基板减薄蚀刻液，其特征在于：该蚀刻液由包括如下重量百分比的原料制备得到：四丁基氟化铵:10-20％，有机酸:1-10％，无机酸:1-10％，金属螯合剂:1-7％，表面活性剂:1-5％，聚乙烯醇(PVA):1-2％，及余量的水。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板减薄蚀刻液，其特征在于：该蚀刻液由包括如下重量百分比的原料制备得到：四丁基氟化铵:10-20％，有机酸:5-10％，无机酸:5-10％，金属螯合剂:1-7％，表面活性剂:1-5％，聚乙烯醇(PVA):1-2％，及余量的水。

3.根据权利要求1或2所述的玻璃基板减薄蚀刻液，其特征在于：所述金属螯合剂为氨基三乙酸(NTA)或乙二胺四乙酸(EDTA)。

4.根据权利要求1或2所述的玻璃基板减薄蚀刻液，其特征在于：所述有机酸为甲酸、乙酸、草酸、丙酸、乙二酸、丁二酸、水杨酸、山梨酸、柠檬酸、苹果酸、苯甲酸或甲磺酸中的一种或几种的混合物。

5.根据权利要求1或2所述的玻璃基板减薄蚀刻液，其特征在于：所述无机酸为盐酸、硝酸、硫酸或磷酸中的一种或几种的混合物。

6.根据权利要求1或2所述的玻璃基板减薄蚀刻液，其特征在于：所述表面活性剂为烷基硫酸钠、阴离子聚丙烯酰胺、烷基聚氧乙烯醚硫酸钠、烷基聚氧乙烯醚羧酸钠、脂肪醇硫酸钠中的一种或几种。

7.根据权利要求1或2所述的玻璃基板减薄蚀刻液，其特征在于：该蚀刻液由包括如下步骤的制备方法制备得到：

(1)将四丁基氟化铵、金属螯合剂加入水中，搅拌使其完全溶解；

(2)将有机酸和无机酸混合后加入步骤(1)得到的水溶液中稀释；

(3)然后将表面活性剂、聚乙烯醇(PVA)加入步骤(2)得到的溶液中，搅拌均匀。