[发明专利]用于合成InP多晶的装料装置及合成InP多晶的方法

权利要求书

1.一种用于合成InP多晶的装料装置，其特征在于，包括：

装料瓶，具有用于盛放红磷料和铟料的且具有封闭端和开口端的收容腔；

盖体，能够盖合在装料瓶的开口端上以封闭收容腔且能够从装料瓶的开口端打开，且设有与收容腔和装料瓶外部连通的排气孔；

保护气体提供瓶，用于盛放不与红磷料反应的保护气体，具有出气口；

输送管，一端连通于保护气体提供瓶的出气口，另一端穿过盖体并伸进装料瓶的收容腔，以向装料瓶的收容腔输送保护气体。

2.根据权利要求1所述的用于合成InP多晶的装料装置，其特征在于，保护气体提供瓶的出气口设有开关，用于控制保护气体提供瓶的出气口的打开和闭合。

3.根据权利要求1所述的用于InP多晶的装料装置，其特征在于，用于合成InP多晶的装料装置还包括：

减压阀，设置于输送管的一端与保护气体提供瓶的出气口之间，用于控制保护气体提供瓶的出气口输出的保护气体的压力值。

4.根据权利要求3所述的用于合成InP多晶的装料装置，其特征在于，用于合成InP多晶的装料装置还包括：

第一压力表，设置于减压阀与保护气体提供瓶的出气口之间，用于检测保护气体提供瓶内的压力；

第二压力表，设置于减压阀与输送管的一端之间，用于检测减压阀出口的保护气体的压力。

5.根据权利要求4所述的用于合成InP多晶的装料装置，其特征在于，用于合成InP多晶的装料装置还包括：

流量计，设置于第二压力表与输送管的一端之间，用于控制流入输送管的保护气体的流量。

6.根据权利要求1所述的用于合成InP多晶的装料装置，其特征在于，盖体设有：快插接口，用于输送管的快速插入和拔出。

7.根据权利要求1所述的用于合成InP多晶的装料装置，其特征在于，装料瓶为石英安瓿瓶；装料瓶的收容腔包括：

第一收容腔，位于收容腔的封闭端，用于盛放红磷料；

第二收容腔，位于收容腔的开口端，用于盛放铟料；以及

连接段，连接于第一收容腔与第二收容腔之间并将第一收容腔与第二收容腔连通。

8.根据权利要求1所述的用于合成InP多晶的装料装置，其特征在于，保护气体选自氮气、氩气、二氧化碳中的一种。

9.根据权利要求7所述的用于合成InP多晶的装料装置，其特征在于，用于合成InP多晶的装料装置还包括：架台，装料瓶固定于架台上。

10.一种合成InP多晶的方法，其特征在于，包括步骤：

提供用于合成InP多晶的红磷料和铟料；

提供根据权利要求1-9中任一项所述的用于合成InP多晶的装料装置；

清洗装料瓶并将装料瓶烘干；

将烘干后的装料瓶竖向固定；

将盖体盖合装料瓶的开口端，使输送管穿过盖体并伸进装料瓶的收容腔的封闭端，

打开保护气体提供瓶以使保护气体提供瓶的出气口打开，从而保护气体经由出气口以及输送管通入到装料瓶的封闭端以将整个收容腔内的空气进行置换，空气经由排气孔排出；

当装料瓶内的空气被保护气体置换后，掀开盖体并将红磷料倒入装料瓶中并依然持续通入保护气体到装料瓶中；

当红磷料完全倒入装料瓶中后盖合盖体并依然持续通入保护气体到装料瓶中，摇晃装料瓶，使所有红磷料集中在收容腔的封闭端；

关闭保护气体提供瓶以使保护气体提供瓶的出气口关闭；

取下盖体、输送管并将装料瓶解除固定；

将装料瓶水平放置并将铟料从装料瓶的开口端装入装料瓶内；

将盛放有红磷料和铟料的装料瓶抽真空并密封，使红磷料与铟料反应进而合成InP多晶。