[发明专利]横向压电驱动变形镜及其装配方法

权利要求书

1.一种横向压电驱动变形镜，其特征在于：包括基座（1）、横向壳套（2）、弹性垫圈（3）、反射镜（4）、压电驱动器（5）、施压装置（6）和接电组件（7），所述横向壳套（2）横向安装在基座（1）上，所述反射镜（4）和压电驱动器（5）粘接并套装于横向壳套（2）内孔，所述弹性垫圈（3）安装在反射镜（4）边沿，弹性垫圈（3）一端面与横向壳套（2）活动接触，所述施压装置（6）螺纹套装在横向壳套（2）的内孔、且施压装置（6）与弹性垫圈（3）活动接触，所述接电组件（7）安装在施压装置（6）上并通过导线与压电驱动器（5）连接。

2.根据权利要求1所述的横向压电驱动变形镜，其特征在于：所述弹性垫圈（3）为截面为U形的环状U形垫圈，所述反射镜（4）夹固在所述U形垫圈的环状U形槽内。

3.根据权利要求2所述的横向压电驱动变形镜，其特征在于：所述施压装置（6）包括支撑滑套（61）和螺纹调节环（62），所述支撑滑套（61）滑套在所述横向壳套（2）内且端面与所述U形垫圈活动接触，所述螺纹调节环（62）螺纹连接于所述横向壳套（2）并活动活动接触所述支撑滑套（61），调整所述螺纹调节环（62）在所述横向壳套（2）中螺旋深度控制弹性垫圈（3）的压力。

4.根据权利要求3所述的横向压电驱动变形镜，其特征在于：所述接电组件（7）包括电路板（71）和接线板（72），所述电路板（71）可拆卸式固装在所述支撑滑套（61）内且其上装设有插头（711），所述接线板（72）穿套在所述支撑滑套（61）内且其上设有供所述导线穿过的引线孔（721）。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的横向压电驱动变形镜，其特征在于：所述基座（1）包括横板（11）和竖板（12），所述横板（11）与所述竖板（12）可拆卸式固定连接，所述竖板（12）可拆卸式套固所述横向壳套（2），所述横板（11）可拆卸式固定连接于外设平台。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的横向压电驱动变形镜，其特征在于：所述反射镜（4）包括经过抛光的基准面和反射面，其基准面镀有金属膜且与接地导线连接；所述压电驱动器（5）包括接地电极面和区域电极面，其接地电极面通过导电胶与所述反射镜（4）的基准面相粘结；所述接电组件（7）通过导线连接于所述压电驱动器（5）的区域电极面。

7.根据权利要求6所述的横向压电驱动变形镜，其特征在于：所述反射镜（4）为单晶硅反射镜；所述压电驱动器（5）为丝网印刷的压电陶瓷驱动器。

8.一种基于权利要求1至7中任一项所述的横向压电驱动变形镜的装配方法，其特征在于：包括以下步骤：

S1：将压电驱动器（5）与反射镜（4）的中心对齐并通过导电胶进行粘接构成层结构部件，并将导线与所述层结构部件的电极分别焊接；

S2：用弹性垫圈（3）夹套并紧固在所述反射镜（4）的侧面及边缘上下表面，并置于施压装置（6）上；

S3：将横向壳套（2）套配于叠放好的所述弹性垫圈（3）和所述施压装置（6），使所述施压装置（6）固定在所述横向壳套（2）内并施压于所述弹性垫圈（3）；

S4：将与所述层结构部件的电极焊接的导线的另一端与接电组件（7）焊接在一起，将接电组件（7）安装在所述施压装置（6）上；

S5：将装配有夹固有所述层结构部件的弹性垫圈（3）和施压装置（6）的横向壳套（2）横向固定于基座（1）。