[发明专利]片状基片智能装载的连续镀膜生产系统

说明书

本发明公开了一种片状基片智能装载的连续镀膜生产系统。其至少包括：相连的一传送流水线和一镀膜流水线，传送流水线传送基片，镀膜流水线包括依次连通且首尾相连的进口腔室、进口过渡腔室、进口缓冲腔室、镀膜腔室、出口缓冲腔室、出口过渡腔室和出口腔室，片状基片通过进口腔室从传送流水线进入镀膜流水线，通过出口腔室从镀膜流水线移出。

技术领域

本发明属于真空镀膜技术领域，特别涉及一种片状基片智能装载的连续镀膜生产系统。

背景技术

镀膜玻璃(Coated glass)也称反射玻璃。镀膜玻璃是在玻璃表面涂镀一层或多层金属、合金或金属化合物薄膜，以改变玻璃的光学性能，满足某种特定要求。镀膜玻璃按产品的不同特性，可分为以下几类：热反射玻璃、低辐射玻璃(Low-E)、导电膜玻璃等。

镀膜玻璃的生产方法很多，主要有真空磁控溅射法、真空蒸发法、化学气相沉积法以及溶胶—凝胶法等。磁控溅射镀膜玻璃利用磁控溅射技术可以设计制造多层复杂膜系，可在白色的玻璃基片上镀出多种颜色，膜层的耐腐蚀和耐磨性能较好，是生产和使用最多的产品之一。真空蒸发镀膜玻璃的品种和质量与磁控溅射镀膜玻璃相比均存在一定差距，已逐步被真空溅射法取代。化学气相沉积法是在浮法玻璃生产线上通入反应气体在灼热的玻璃表面分解，均匀地沉积在玻璃表面形成镀膜玻璃。该方法的特点是设备投入少、易调控，产品成本低、化学稳定性好，可进行热加工，是最有发展前途的生产方法之一。溶胶—凝胶法生产镀膜玻璃工艺简单，稳定性也好，不足之处是产品光透射比太高，装饰性较差。

目前的镀膜设备采用双面镀膜的方式，设备有正反两面区分，设备两边同时装有靶材，且装载玻璃的基片架也分正反两面，加热器装在真空室中心位置，上下为一个整体式，采用吊装方式悬空挂起，在镀膜过程中，在基片架的正反面分别装载玻璃，镀膜时装有玻璃的基片架在真空室内行走，基片架的正反面分别位于中间加热器的两侧，经过靶区通过磁控溅射的方式进行镀膜，这种方式一次只能镀玻璃的一面，如果玻璃的另外一面也需要镀膜，则必须镀完玻璃一面后，将镀完一面的玻璃重新经过清洗，然后再次经过真空室进行镀膜，即镀膜工序要重复两次才能完成，这样不但浪费人力、财力、产量低而且玻璃经过多次周转后其良率也会大大下降。

整个真空腔体的结构设计，一次只能完成片状基片单面的膜层制备，如果片状基片两个表面均需要制备膜层，现有技术的做法只能是制备完片状基片一个表面的膜层后，将片状基片再重复第一次镀膜的工序去完成第二面膜层的制备，这种工艺在第二次制备膜层的过程中，会对第一次膜层的性能有所影响，并且由于二次镀膜会造成良率的下降，总体生产成本较高。

此外，针对节能环保类的二氧化钒热色智能玻璃而言，不管高温一次沉膜还是低温沉膜后退火一般都在400-600℃件的范围内进行，但钢化玻璃在此温度范围内容易出现应力损耗造成安全性能下降，且保持该温度下时间越长则盈利损耗越大，最终使得改热色智能玻璃的强度无法达标，因此，对应此类基片的整体生产线应进行调整性设计。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明提供片状基片智能装载的连续镀膜生产系统，其至少包括：相连的一传送流水线和一镀膜流水线，传送流水线传送基片，镀膜流水线包括依次连通且首尾相连的的进口腔室、进口过渡腔室、进口缓冲腔室、镀膜腔室、出口缓冲腔室、出口过渡腔室和出口腔室，片状基片通过进口腔室从传送流水线进入镀膜流水线，通过出口腔室从镀膜流水线移出。

优选地，为了节约占地面积和提高工作效率，传送流水线与镀膜流水线平行设置。

优选地，出口缓冲腔室、出口过渡腔室和出口腔室的腔室内壁均设有吸热涂层。

优选地，镀膜强室内设有加热灯管。