[发明专利]用于形成色阻的感光组合物以及制备彩膜基板的方法、彩膜基板有效
申请号: | 201711341225.3 | 申请日: | 2017-12-14 |
公开(公告)号: | CN109960107B | 公开(公告)日: | 2021-01-22 |
发明(设计)人: | 钟国强;董安鑫;殷瑞;余娅;唐文浩 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/027;G02F1/1335 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人: | 牛南辉;李峥 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 形成 感光 组合 以及 制备 彩膜基板 方法 | ||
1.一种用于形成色阻的感光组合物,包括:
至少两种色阻前体,其用于形成不同颜色的色阻;以及
至少两种感光起始剂,所述至少两种感光起始剂中的每一种用于引发所述至少两种色阻前体中的对应一种色阻前体的聚合反应以形成所述色阻,其中,所述至少两种感光起始剂的敏感波长彼此不同。
2.根据权利要求1所述的感光组合物,其中,所述至少两种感光起始剂的所述敏感波长处于紫外范围。
3.根据权利要求1所述的感光组合物,其中,所述至少两种色阻前体包括单体材料。
4.根据权利要求3所述的感光组合物,其中,所述至少两种色阻前体包括第一、第二和第三色阻前体,所述至少两种感光起始剂包括对应于所述第一色阻前体的第一感光起始剂、对应于所述第二色阻前体的第二感光起始剂和对应于所述第三色阻前体的第三感光起始剂。
5.根据权利要求4所述的感光组合物,其中,所述第一色阻前体通过第一基础单体材料与第一颜料结合而形成,所述第一基础单体材料包括CH2=CHCOOR1,R1为用于结合所述第一颜料的分子的第一基团,所述第二色阻前体通过第二基础单体材料与第二颜料结合而形成,所述第二基础单体材料包括CR’R2=C(CN)2,R2为用于结合所述第二颜料的分子的第二基团,所述第三色阻前体通过第三基础单体材料与第三颜料结合而形成,所述第三基础单体材料包括CR’R3=CH2,R3为用于结合所述第三颜料的分子的第三基团,其中,R’为苯基,
其中,所述第一感光起始剂包括硫杂蒽酮类分子,所述第二感光起始剂包括三芳基硫鎓盐,所述第三感光起始剂包括二芳基碘鎓盐。
6.根据权利要求5所述的感光组合物,其中,所述第一感光起始剂包括异丙基硫杂蒽酮,所述第二感光起始剂包括Ar3SKCl,所述第三感光起始剂包括Ar2IBF6或Ar2ISbF6,其中,Ar为芳基。
7.根据权利要求6所述的感光组合物,其中,所述第一基团为MgBr,所述第一颜料包括颜料R254;所述第二基团为R”OZn,所述第二颜料包括颜料G58;所述第三基团为R”OCu,所述第三颜料包括颜料B15:6,其中,R”为烷基。
8.一种制备彩膜基板的方法,包括:
提供基板;
在所述基板上施加用于形成色阻的感光组合物,其中,所述感光组合物包括至少两种色阻前体以及至少两种感光起始剂,其中,所述至少两种感光起始剂中的每一种用于引发所述至少两种色阻前体中的对应一种色阻前体的聚合反应以形成所述色阻;以及
图案化所述感光组合物以形成具有不同颜色的至少两种色阻,
所述至少两种感光起始剂的敏感波长彼此不同。
9.根据权利要求8所述的方法,其中,所述至少两种感光起始剂的所述敏感波长处于紫外范围。
10.根据权利要求8所述的方法,其中,所述图案化包括:
提供具有不同图案配置的至少两个掩模板;
通过所述至少两个掩模板中的每一个分别使用不同波长的光曝光所述感光组合物,其中,每次曝光使用的光的波长彼此不同;以及
显影所述感光组合物以形成所述至少两种色阻。
11.根据权利要求8所述的方法,其中,所述图案化包括:
提供一个掩模板;
通过所述掩模板曝光所述感光组合物N次,其中N等于所述至少两种感光起始剂的数量,其中,每次曝光使用的光的波长彼此不同,以及在两次曝光之间以给定的步长沿给定的方向移动所述掩模板;以及
显影所述感光组合物以形成所述至少两种色阻。
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