[发明专利]近背向散射光学测量系统在审
申请号: | 201711341525.1 | 申请日: | 2017-12-14 |
公开(公告)号: | CN108333147A | 公开(公告)日: | 2018-07-27 |
发明(设计)人: | 闫亚东;何俊华;王维;韦明智;薛艳博;张敏 | 申请(专利权)人: | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01N21/47 | 分类号: | G01N21/47 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人: | 陈广民 |
地址: | 710119 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 背向散射 光学测量系统 背向散射光 测量装置 取样装置 系统成像 真空靶室 散射板 靶点 光学测量技术 激光驱动装置 测量窗口 测量需求 漫反射光 诊断技术 镜头 反方向 漫反射 散射 入射 激光 损伤 穿过 室内 | ||
1.一种近背向散射光学测量系统,包括取样装置和测量装置,其特征在于:所述取样装置包括球状真空靶室和系统成像镜头,所述球状真空靶室内设置有靶点和散射板;打靶激光入射靶点产生的近背向散射光沿打靶反方向散射后由散射板产生漫反射,漫反射光穿过球状真空靶室上的测量窗口后,再经过系统成像镜头进入测量装置。
2.根据权利要求1所述的近背向散射光学测量系统,其特征在于:所述测量装置包括沿光路传播方向依次设置的光束缩束镜和二向色镜;所述二向色镜将光谱分离后,长波被透射进入长波透射光测量单元,短波被反射进入短波反射光测量单元。
3.根据权利要求2所述的近背向散射光学测量系统,其特征在于:所述长波透射光测量单元包括沿光路传播方向依次设置的长波相机取样镜、长波光谱时间取样镜和长波能量测量聚焦镜;所述长波相机取样镜将一部分长波透射光反射后,经长波相机成像镜头成像在长波相机上;所述长波光谱时间取样镜将另一部分长波透射光反射后,经长波光谱时间测量耦合镜耦合至长波光谱时间测量像面上,所述长波光谱时间测量像面上设置有长波时间测量快光电管和长波光谱取样光纤,所述长波光谱取样光纤与光谱仪相连;所述长波能量测量聚焦镜将剩余的长波透射光聚焦于长波能量卡计探头上;
所述短波反射光测量单元包括沿光路传播方向依次设置的短波相机取样镜、短波光谱时间取样镜和短波能量测量聚焦镜;所述短波相机取样镜将一部分短波反射光反射后,经短波相机成像镜头成像在短波相机上;所述短波光谱时间取样镜将另一部分短波反射光反射后,经短波光谱时间测量耦合镜耦合至短波光谱时间测量像面上,所述短波光谱时间测量像面上设置有短波时间测量快光电管和短波光谱取样光纤,所述短波光谱取样光纤与光谱仪相连;所述短波能量测量聚焦镜将剩余的短波反射光聚焦于短波能量卡计探头上。
4.根据权利要求3所述的近背向散射光学测量系统,其特征在于:所述长波光谱时间测量像面上设置有长波光吸收陷阱;所述短波光谱时间测量像面上设置有短波光吸收陷阱。
5.根据权利要求4所述的近背向散射光学测量系统,其特征在于:所述长波相机成像镜头与长波相机取样镜之间设置有长波相机成像镜头可变光阑;所述短波相机成像镜头与短波相机取样镜之间设置有短波相机成像镜头可变光阑。
6.根据权利要求1-5中任一所述的近背向散射光学测量系统,其特征在于:所述系统成像镜头将散射板成像于一次像面上,所述一次像面上设置有杂散光滤波装置。
7.根据权利要求6所述的近背向散射光学测量系统,其特征在于:所述系统成像镜头与球状真空靶室的测量窗口之间设置有测量系统可变总光阑。
8.根据权利要求7所述的近背向散射光学测量系统,其特征在于:所述散射板是带有打靶激光通道的异形散射板。
9.根据权利要求8所述的近背向散射光学测量系统,其特征在于:所述异形散射板为椭球面漫反射白板,所述靶点位于椭球面漫反射白板的一个焦点上,所述测量系统可变总光阑的中心位于椭球面漫反射白板的另一个焦点上。
10.根据权利要求9所述的近背向散射光学测量系统,其特征在于:所述长波相机和短波相机均为门控ICCD相机。
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