[发明专利]弧形玻璃真空磁控溅射镀膜生产线

权利要求书

1.弧形玻璃真空磁控溅射镀膜生产线，其特征在于：包括依次连接的上片区、进口腔室、进口缓冲腔室、进口传送腔室、溅射腔室、出口传送腔室、出口缓冲腔室、出口腔室、质检腔室和卸片区，所述上片区、进口腔室、进口缓冲腔室、进口传送腔室、溅射腔室、出口传送腔室、出口缓冲腔室、出口腔室和卸片区内均设有依次连接的传动台，所述质检腔室内设有镀膜质检台和质检系统，所述出口腔室内传动台与镀膜质检台相连，所述溅射腔室包括至少一个镀膜分区，每个镀膜分区设有至少一平面阴极装置(61)，所述平面阴极装置(61)与一角度调节装置(62)连接，所述角度调节装置(62)通过若干沿着纵向轴线伸展的连接臂与镀膜分区的阳极箱体连接。

2.根据权利要求1所述的弧形玻璃真空磁控溅射镀膜生产线，其特征在于：所述镀膜质检台包括至少一真空镀膜基片架(11)、一轨道和传动机构(13)，每个所述真空镀膜基片架(11)均在其对应轨道上往返滑动，所述传动机构(13)与真空镀膜基片架(11)连接并为其提供动力，所述真空镀膜基片架(11)上安装有若干基片孔(12)，真空镀膜基片安装于基片孔(12)内。

3.根据权利要求2所述的弧形玻璃真空磁控溅射镀膜生产线，其特征在于：所述镀膜质检台包括两个真空镀膜基片架(11)和两条轨道和传动机构(13)，所述两条轨道贴合且并行安装，每个所述真空镀膜基片架(11)均在其对应轨道上往返滑动。

4.根据权利要求3所述的弧形玻璃真空磁控溅射镀膜生产线，其特征在于：所述传动机构(13)包括永磁传动电机、磁导向件和磁传动件，所述永磁传动电机与磁导向件和磁传动件磁性连接，所述磁传动件安装于真空镀膜基片架(11)底部，所述磁导向件安装于轨道内部。

5.根据权利要求1所述的弧形玻璃真空磁控溅射镀膜生产线，其特征在于：所述连接臂包括至少一个子连接臂，每个所述子连接臂的连接端设有轴孔或转轴，所述子连接臂与角度调节装置(62)轴孔或转轴连接，所述子连接臂之间相互通过轴孔或转轴连接。

6.根据权利要求1所述的弧形玻璃真空磁控溅射镀膜生产线，其特征在于：所述角度调节装置(62)为二轴调节装置，该二轴调节装置可以绕其竖直轴和水平轴旋转以调整平面阴极装置(61)的溅射角度，即当所述角度调节装置(62)竖直地立于地面时，所述竖直轴垂直于地面，所述水平轴平行于地面。

7.根据权利要求6所述的弧形玻璃真空磁控溅射镀膜生产线，其特征在于：所述角度调节装置(62)包括竖直驱动件(621)、竖直支架(622)和水平驱动件(623)，所述竖直支架(622)与竖直驱动件(621)相连并能在竖直驱动件(621)的带动下绕竖直轴旋转；所述水平驱动件(623)固定设置于竖直支架(622)远离竖直驱动件(621)的末端，所述平面阴极装置(61)与水平驱动件(623)相连并在水平驱动件(623)的带动下绕水平轴旋转。

8.根据权利要求1所述的弧形玻璃真空磁控溅射镀膜生产线，其特征在于：所述平面阴极装置(61)由外至内依次为靶材(611)、靶背板(612)、磁铁(613)和轭铁(614)，所述靶背板(612)与磁铁(613)间设有绝缘垫(615)，所述靶材(611)固定连接靶背板(612)，所述磁铁(613)固定于轭铁(614)上，所述轭铁(614)通过绝缘件(616)与角度调节装置(63)连接。