[发明专利]一种形成于金属部件表面的阻尼涂层及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201711342671.6 申请日: 2017-12-14
公开(公告)号: CN108085643A 公开(公告)日: 2018-05-29
发明(设计)人: 杜广煜;巴德纯;李国浩 申请(专利权)人: 东北大学
主分类号: C23C14/08 分类号: C23C14/08;C23C14/30
代理公司: 北京易捷胜知识产权代理事务所(普通合伙) 11613 代理人: 韩国胜
地址: 110169 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 阻尼涂层 制备 金属部件表面 金属部件 氧化钇稳定氧化锆 氧化钇 金属材料表面 物理气相沉积 表面形成 抗震能力 涂层领域 振动水平 阻尼材料 阻尼涂料 动刚度 有效地 剥落 沉积 配制 老化 配置
【权利要求书】:

1.一种形成于金属部件表面的阻尼涂层,其特征在于,所述阻尼涂层的材料包括均匀混合的氧化钇稳定氧化锆和氧化钇,其中所述氧化钇稳定氧化锆的质量百分含量为85%-92%,所述氧化钇的质量百分含量为8%-15%;

所述均匀混合的氧化钇稳定氧化锆和氧化钇沉积形成于金属部件表面。

2.根据权利要求1所述的一种形成于金属部件表面的阻尼涂层,其特征在于,所述氧化钇稳定氧化锆的氧化钇质量分数为8%。

3.根据权利要求1-2所述的一种形成于金属部件表面的阻尼涂层,其特征在于,所述金属部件表面上的阻尼涂层厚度为15-30μm。

4.一种金属部件表面阻尼涂层的制备方法,其特征在于,所述阻尼涂层制备包括以下步骤:

1)阻尼材料配制:将所述氧化钇稳定氧化锆和所述氧化钇混合均匀;所述氧化钇稳定氧化锆的质量百分含量为85%-92%,所述氧化钇的质量百分含量为8%-15%;

2)阻尼涂层:采用物理气相沉积的方法在金属部件表面上进行阻尼涂层。

5.根据权利要求4所述的一种金属部件表面阻尼涂层的制备方法,其特征在于,步骤2)中所述阻尼涂层在电子束蒸发装置中进行。

6.根据权利要求5所述的一种金属部件表面阻尼涂层的制备方法,其特征在于,电子束蒸发装置的本底真空度不大于1×10-4Pa;所述机械叶片的基底加热温度500℃;蒸发束电流200-500mA;沉积时间为15-30min。

7.根据权利要求4所述的一种金属部件表面阻尼涂层的制备方法,其特征在于,在步骤2)之前,还包括对金属部件表面极净净化处理作业:将所述金属部件表面分别经溶剂超声波清洗、气体冲洗和常压等离子清洗作业。

8.根据权利要求7所述的一种金属部件表面阻尼涂层的制备方法,其特征在于,所述溶剂超声波清洗的溶剂分别为去离子水、丙酮和无水乙醇;

所述溶剂超声波清洗的超声波频率为55-65kHz,每种溶剂清洗时间为20min。

9.根据权利要求7所述的一种金属部件表面阻尼涂层的制备方法,其特征在于,所述气体清洗具体为先用高压空气吹干经所述溶剂超声波清洗处理后的所述金属部件表面的残留液体,然后采用高纯氮气对所述金属部件表面进行冲洗。

10.根据权利要求7所述的一种金属部件表面阻尼涂层的制备方法,其特征在于,所述常压等离子清洗作业在等离子清洗机中进行,将所述等离子清洗机的清洗功率调至20-30W,所述等离子清洗机的电极距所述金属部件表面的处理距离为2-10mm,清洗时间为15min。

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