[发明专利]一种n型ZnO薄膜及其制备方法与QLED器件有效
申请号: | 201711349845.1 | 申请日: | 2017-12-15 |
公开(公告)号: | CN109935733B | 公开(公告)日: | 2021-11-23 |
发明(设计)人: | 何斯纳;吴龙佳;吴劲衡 | 申请(专利权)人: | 深圳TCL工业研究院有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L51/50;H01L51/54 |
代理公司: | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人: | 王永文;刘文求 |
地址: | 518000 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 zno 薄膜 及其 制备 方法 qled 器件 | ||
1.一种QLED器件的制备方法,其特征在于,包括电子传输层的制备,所述电子传输层为n型ZnO薄膜,所述n型ZnO薄膜的制备方法包括步骤:
将锌盐、镁盐和铟盐溶解于有机溶剂中,形成混合溶液;
在混合溶液中加入碱液进行缩聚反应,得到含n型ZnO的溶液;
将含n型ZnO的溶液制成薄膜,得到所述n型ZnO薄膜;
在混合溶液中加入碱液进行缩聚反应的步骤中,所述碱摩尔量与溶解形成的Zn2+、Mg2+和In3+摩尔量之和的比为(1.8-2.5):1;
将锌盐、镁盐和铟盐溶解于有机溶剂中的步骤中,按溶解形成的Zn2+摩尔量与Mg2+和In3+的摩尔量之和比为1:(0.001-0.007),将所述锌盐、镁盐和铟盐溶解于有机溶剂中;
所述Mg2+和所述In3+的摩尔比为2~3:1。
2.根据权利要求1所述的QLED器件的制备方法,其特征在于,所述锌盐选自醋酸锌、硝酸锌、氯化锌、硫酸锌或二水合乙酸锌。
3.根据权利要求1所述的QLED器件制备方法,其特征在于,所述镁盐选自氯化镁、硝酸镁、硫酸镁或铬酸镁;
和/或所述铟盐选自氯化铟、硫酸铟或硝酸铟;
和/或所述有机溶剂选自乙二醇甲醚、丙二醇甲醚、异丙醇、乙醇、丙醇、丁醇和丙酮中的一种或多种;
和/或所述碱液选自氨水、氢氧化钾、氢氧化纳、乙醇胺、乙二醇、二乙醇胺、三乙醇胺或乙二胺。
4.根据权利要求1所述的QLED器件的制备方法,其特征在于,Zn2+摩尔量与Mg2+和In3+的摩尔量之和比为1:0.007,其中所述Mg2+和所述In3+的摩尔比为0.005:0.002。
5.根据权利要求1所述的QLED器件的制备方法,其特征在于,在混合溶液中加入碱液进行缩聚反应的步骤中,所述缩聚反应的温度为50-70℃,缩聚反应的时间为2-4h。
6.一种QLED器件,其特征在于,采用权利要求1-5任一项所述的制备方法制备而成。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
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