[发明专利]一种加热系统

权利要求书

1.一种加热系统，其特征在于，所述加热系统包括：

用于向待加热区域提供工艺气体的供气装置；

用于对待加热区域供热的加热装置；

用于驱动所述加热装置匀速运动的驱动装置，所述驱动装置与所述加热装置连接。

2.根据权利要求1所述的加热系统，其特征在于，所述加热装置包括至少两个加热单元，且所述加热单元均匀排布。

3.根据权利要求2所述的加热系统，其特征在于，所述驱动装置包括连接的驱动电机与传动杆，所述加热装置与所述传动杆连接。

4.根据权利要求2或3所述的加热系统，其特征在于，所述驱动装置包括滑轨与滑块，所述滑块设置在所述滑轨上，所述加热装置设置在所述滑块上，所述加热装置沿所述滑轨运动。

5.根据权利要求4所述的加热系统，其特征在于，所述加热装置在所述待加热区域下方作往复横向运动。

6.根据权利要求5所述的加热系统，其特征在于，所述加热装置往复横向运动的单次距离为两个相邻加热单元之间距离的整数倍。

7.根据权利要求4所述的加热系统，其特征在于，所述加热装置在所述待加热区域下方作圆周运动。

8.根据权利要求3所述的加热系统，其特征在于，所述传动杆包括丝杠，所述驱动电机驱动所述丝杠旋转以带动所述加热装置往复横向运动。

9.根据权利要求4所述的加热系统，其特征在于，所述加热装置还包括曲面安装板，所述加热单元设置在所述曲面安装板上，所述曲面安装板与所述驱动装置连接。

10.根据权利要求3所述的加热系统，其特征在于，所述加热系统还包括温度传感器，所述传动杆为中空隔热管，供电系统的电缆、温度传感器均设置在所述传动杆内部，且供电系统的电缆穿过管壁与加热单元连接。

11.根据权利要求5-10任一项所述的加热系统，其特征在于，所述加热系统还包括工艺载板，所述供气装置包括进气管、匀气腔、多个出气管，所述匀气腔的顶部设置有进气口，所述进气管设置在进气口处，所述匀气腔的底部均匀设置各个出气管，且所述出气管位于待加热区域上方，所述工艺载板设置在所述待加热区域内，所述加热装置位于所述工艺载板下方。