[发明专利]TFT阵列基板全接触式测试线路有效
申请号: | 201711351770.0 | 申请日: | 2017-12-15 |
公开(公告)号: | CN108122804B | 公开(公告)日: | 2019-12-03 |
发明(设计)人: | 陈彩琴 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H01L27/12 |
代理公司: | 44265 深圳市德力知识产权代理事务所 | 代理人: | 林才桂<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 430070 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 测试芯片 面板切割 测试端子 测试线路 全接触 切割 测试设备 接触测试 静电放电 距离加大 连接测试 驱动端子 驱动芯片 源/漏极 有机层 同层 源层 走线 绝缘 制作 成功率 半导体 界线 腐蚀 测试 覆盖 | ||
本发明提供一种TFT阵列基板全接触式测试线路,将测试芯片(5)设于面板切割界线(7)之外,允许测试芯片(5)上的各测试端子(51)的尺寸以及相邻测试端子(51)之间的距离加大,能够提高测试设备接触测试端子(51)的成功率;测试芯片(5)在面板切割时被切割掉,且连接测试端子(51)与驱动芯片(3)上驱动端子(31)的走线(35)由与TFT阵列基板内TFT的有源层同层的半导体(S)制作而成,能够防止面板切割后发生线路腐蚀与静电放电的风险;由于测试芯片(5)在面板切割时被切割掉,测试端子(51)上无需覆盖绝缘的有机层,从而允许在制作出TFT阵列基板内TFT的源/漏极后及在TFT阵列基板全部制作完成的情况下都可以进行测试。
技术领域
本发明涉及显示面板检测技术领域,尤其涉及一种TFT阵列基板全接触式测试线路。
背景技术
有机发光二极管显示面板(Organic Light Emitting Display,OLED)由于同时具备自发光,不需背光源、对比度高、厚度薄、视角广、反应速度快、可用于挠曲性面板、使用温度范围广、构造及制程较简单等优异特性,被认为是下一代平面显示器的新兴应用技术。
OLED显示面板按照驱动类型可分为无源矩阵型(Passive Matrix,PM)OLED和有源矩阵型(Active Matrix,AM)OLED两大类,即直接寻址和薄膜晶体管(Thin FilmTransistor,TFT)矩阵寻址两类。AMOLED显示面板包括TFT阵列基板,在所述TFT阵列基板上设有呈阵列式排布的像素(Pixel)。
在AMOLED显示面板的TFT阵列基板的制作过程中,会对其进行全接触式测试(FullContact Test)(所谓全接触式测试即对每个像素都进行测试),通过测试设备向TFT阵列基板输入像素驱动信号、GOA驱动信号等一系列的驱动信号,以输出显示区扫描信号(Gate)和发光信号(EM)。
由于进行全接触式测试时会对每个像素进行回路电流测试,故而TFT阵列基板内的每条数据线(Data Line)都需要信号给入。请参阅图1,现有的TFT阵列基板全接触式测试线路包括多条数据线100、设于所述多条数据线100的扇出区(Fan out)101之外的测试芯片300及设于所述测试芯片300远离所述扇出区101一侧的驱动芯片(COF)500,并且所述测试芯片300与驱动芯片500均位于AMOLED显示面板的切割界线700之内;所述测试芯片300包括多个测试端子301,一测试端子301对应电性连接一数据线100;所述驱动芯片500包括多个驱动端子501,一驱动端子501通过一金属走线350电性连接一对应的测试端子301。结合图1与图3,所述测试端子301、驱动端子501及金属走线350均采用与TFT阵列基板内TFT的源/漏极同层的金属M制作。随着AMOLED显示面板解析度的增加,所述数据线100的数量增多,所述测试芯片300内测试端子301的数量相应增多,这样会引发一些设计和工艺方面的风险,例如:
A、所述测试芯片300内测试端子301的数量众多,排布较密集,测试设备接触所述测试端子301的成功率降低;
B、所述测试芯片300位于所述驱动芯片500到数据线100的扇出区101之间,TFT阵列基板全接触式测试完成后,后续会进行OLED制程,封装的边界将不会到达此区域,造成所述测试芯片300内的测试端子301裸露,加大了由于杂质颗粒(Particle)掉落在各测试端子301上造成测试端子301之间短路的风险以及由于水氧进入测试端子301或金属走线350造成腐蚀的风险;
C、随着所述测试芯片300内测试端子301的数量增多,全部测试端子301所占的金属面积较大,金属的导电性良好,有静电放电(Electro-Static Discharge,ESD)的风险。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造